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公开(公告)号：CN107634122A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710771419.0
申请日：2017-08-31
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 日地太阳能电力股份有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种氧化钛钝化膜的制备方法，步骤为在预处理后的硅片表面利用电子束沉积法沉积一定厚度的金属钛薄膜，后通入氧气气氛退火，再在氮气气氛中冷却即可。利用电子束沉积法沉积金属钛薄膜然后直接对金属钛薄膜进行氧化形成氧化钛薄膜，相比于ALD/CVD工艺，本发明所需的设备要求低，且操作方式和操作流程更加简单，便于调节金属钛薄膜的厚度、氧化工艺以适应不同的硅片钝化需求，同时该氧化钛钝化膜能够很好地与其他钝化介质层形成叠层从而达到更佳的钝化效果；本发明工艺还适用于热蒸镀法、磁控溅射法沉积金属钛薄膜；能够容易地实现沉积微量活性金属，从而实现对最终氧化钛薄膜的掺杂改性。
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公开(公告)号：CN107610814A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710760201.5
申请日：2017-08-30
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 日地太阳能电力股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于超薄金属网格的透明电极及其制备方法，涉及透明电极技术领域。该透明电极包括经表面修饰过的柔性透明衬底，所述柔性透明衬底经表面修饰的一面沉积有厚度为1～10nm的导电金属网格层。该透明电极的制备方法是在衬底表面嫁接一层胺基、用光刻或胶体印刷形成掩模板、掩模板间隙沉积1～10nm厚度的金属层、除去掩模板，即得基于超薄金属网格的透明电极。本发明通过降低金属网格的厚度，提高了金属网格的透光率，同时使金属网格在厚度为1～10nm时仍具有较好的导电性，解决了透明电极导电性和透光率“此消彼长”的问题，实现了导电性和透光率二者性能的平衡。
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公开(公告)号：CN107610814B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201710760201.5
申请日：2017-08-30
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 日地太阳能电力股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于超薄金属网格的透明电极及其制备方法，涉及透明电极技术领域。该透明电极包括经表面修饰过的柔性透明衬底，所述柔性透明衬底经表面修饰的一面沉积有厚度为1～10nm的导电金属网格层。该透明电极的制备方法是在衬底表面嫁接一层胺基、用光刻或胶体印刷形成掩模板、掩模板间隙沉积1～10nm厚度的金属层、除去掩模板，即得基于超薄金属网格的透明电极。本发明通过降低金属网格的厚度，提高了金属网格的透光率，同时使金属网格在厚度为1～10nm时仍具有较好的导电性，解决了透明电极导电性和透光率“此消彼长”的问题，实现了导电性和透光率二者性能的平衡。
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公开(公告)号：CN107633896A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710759647.6
申请日：2017-08-30
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 日地太阳能电力股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种高雾度的透明导电薄膜及其制备方法，涉及透明导电电极制备技术领域。该透明导电薄膜包括透明电极，所述透明电极的一面涂布有带绒面的透明转印媒介。制备方法是在衬底上制备透明电极，在电极的表面均匀涂布一层转印媒介，然后将电极涂布有转印媒介的一面与制绒模板紧密接触，固化后将转印媒介与制绒模板分离，将电极与衬底分离，即得高雾度的透明导电薄膜。本发明的导电薄膜雾度高，反射率低，对光的散射能力更强；同时本发明的导电薄膜的雾度和水静态接触角值可调，本发明的制备方法简单易行。
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