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公开(公告)号：CN114755821A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110021043.8
申请日：2021-01-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明提供了一种菲涅尔波带片衍射效率的分区计算方法，基于菲涅尔波带片的应用需求确定菲涅尔波带片的结构；将菲涅尔波带片的环形光栅近似为二维线性光栅，并以一对相邻环带的总宽度作为近似线性光栅的周期；计算不同周期的二维线性光栅的衍射效率，并根据不同环带宽度的菲涅尔波带片每一环的衍射效率绘制衍射效率与环带宽度之间的关系曲线；根据不同环带宽度衍射效率的波动程度将菲涅尔波带片分成若干区域；计算各区域衍射效率和；根据各区域衍射效率和，计算菲涅尔波带片整个结构的全局衍射效率。解决了现有技术中的对于计算菲涅尔波带片衍射效率时，尤其对于环数较多、环带宽度变化明显的器件时，存在较大的误差和计算量的的技术问题。
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公开(公告)号：CN114764192B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202110033950.4
申请日：2021-01-11
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜菲涅尔波带片的设计方法及系统，获得第一光源能量信息；获得所述多层膜菲涅尔波带片的应用焦距；获得所述多层膜菲涅尔波带片的分辨率信息；确定菲涅尔波带片的最外环宽度；确定多层膜菲涅尔波带片的半径；确定所述多层膜菲涅尔波带片的环带宽度；获得所述第一光源下菲涅尔波带片衍射效率，根据所述菲涅尔波带片衍射效率确定第一材料和第一厚度范围；根据所述第一材料、第一厚度范围、多层膜菲涅尔波带片的半径、多层膜菲涅尔波带片的环带宽度，构建多层膜菲涅尔波带片的模型。解决了现有技术中对于高分辨率的多层膜菲涅尔波带片的设计方法仍然不够完善，缺少高分辨率多层膜菲涅尔波带片设计方法的技术问题。
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公开(公告)号：CN113699505B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202010431946.9
申请日：2020-05-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: C23C16/30 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本申请公开了一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法，包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热对象稳定在特定温度时，往所述原子层沉积反应腔室内通入铜源0.001‑5s，吹扫1‑180s，通入碘源0.001‑5s，吹扫1‑180s，往所述反应腔室内通入所述铜源0.001‑5s，吹扫1‑180s，通入掺杂源0.001‑5s，吹扫1‑180s，在反应腔室中进行原子层沉积，获得掺杂的碘化亚铜薄膜，其中，所述杂质源包括氯源、溴源中的一种；沉积完所述掺杂的碘化亚铜薄膜后，让所述基底在真空中自然冷却到室温后取出；得到均匀的掺杂的碘化亚铜薄膜置于真空干燥箱中备用。
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公开(公告)号：CN113699506A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202010432624.6
申请日：2020-05-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: C23C16/30 , C23C16/455 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本申请公开了一种碘化亚铜薄膜的制备方法，涉及半导体器件技术领域，所述方法包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热对象稳定在特定温度时，往所述原子层沉积反应腔室内通入铜源0.001‑5s，吹扫1‑180s，通入碘源0.001‑5s，吹扫1‑180s，在所述反应腔室中进行原子层沉积，获得碘化亚铜薄膜；沉积完所述碘化亚铜薄膜后，让所述基底在真空中自然冷却到室温后取出；得到均匀的碘化亚铜薄膜置于真空干燥箱中备用。
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公开(公告)号：CN113625379B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202010374021.5
申请日：2020-05-06
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及光学器件技术领域，具体涉及一种菲涅尔波带片的设计方法、制作方法和设计装置。该方法包括：对菲涅尔波带片进行结构建模，获得菲涅尔波带片模型；计算菲涅尔波带片模型在空间内的第一光强分布；确定焦点中心位置；获得菲涅尔波带片模型的衍射效率；判断菲涅尔波带片模型的衍射效率是否满足设计要求；若否，则更新设定结构参数，并重复以上步骤；若是，则将设定结构参数作为优化后的设定结构参数。本发明创新地使用时域有限差分法来搭建真实的菲涅尔波带片模型，模拟出真实的菲涅尔波带片的工作环境，从而仿真出菲涅尔波带片的缺陷对其衍射现象的影响，通过反复的参数调整更新，进而获得了符合设计要求的菲涅耳波带片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113699506B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202010432624.6
申请日：2020-05-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: C23C16/30 , C23C16/455 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本申请公开了一种碘化亚铜薄膜的制备方法，涉及半导体器件技术领域，所述方法包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热对象稳定在特定温度时，往所述原子层沉积反应腔室内通入铜源0.001‑5s，吹扫1‑180s，通入碘源0.001‑5s，吹扫1‑180s，在所述反应腔室中进行原子层沉积，获得碘化亚铜薄膜；沉积完所述碘化亚铜薄膜后，让所述基底在真空中自然冷却到室温后取出；得到均匀的碘化亚铜薄膜置于真空干燥箱中备用。
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公开(公告)号：CN113699505A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202010431946.9
申请日：2020-05-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: C23C16/30 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本申请公开了一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法，包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热对象稳定在特定温度时，往所述原子层沉积反应腔室内通入铜源0.001‑5s，吹扫1‑180s，通入碘源0.001‑5s，吹扫1‑180s，往所述反应腔室内通入所述铜源0.001‑5s，吹扫1‑180s，通入掺杂源0.001‑5s，吹扫1‑180s，在反应腔室中进行原子层沉积，获得掺杂的碘化亚铜薄膜，其中，所述杂质源包括氯源、溴源中的一种；沉积完所述掺杂的碘化亚铜薄膜后，让所述基底在真空中自然冷却到室温后取出；得到均匀的掺杂的碘化亚铜薄膜置于真空干燥箱中备用。
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公开(公告)号：CN114755821B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202110021043.8
申请日：2021-01-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明提供了一种菲涅尔波带片衍射效率的分区计算方法，基于菲涅尔波带片的应用需求确定菲涅尔波带片的结构；将菲涅尔波带片的环形光栅近似为二维线性光栅，并以一对相邻环带的总宽度作为近似线性光栅的周期；计算不同周期的二维线性光栅的衍射效率，并根据不同环带宽度的菲涅尔波带片每一环的衍射效率绘制衍射效率与环带宽度之间的关系曲线；根据不同环带宽度衍射效率的波动程度将菲涅尔波带片分成若干区域；计算各区域衍射效率和；根据各区域衍射效率和，计算菲涅尔波带片整个结构的全局衍射效率。解决了现有技术中的对于计算菲涅尔波带片衍射效率时，尤其对于环数较多、环带宽度变化明显的器件时，存在较大的误差和计算量的的技术问题。
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公开(公告)号：CN114765080A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110033929.4
申请日：2021-01-11
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种X射线显微成像系统及其厚度渐变式菲涅尔波带片，包括：波带片本体；中心丝结构，所述中心丝结构位于所述波带片本体的中心位置处；M层膜光栅，所述M层膜光栅采用第一沉积方式沉积于所述中心丝结构外部，且与所述中心丝结构同心设置，且，所述M层膜光栅包括P个第一类环带膜层和Q个第二类环带膜层；其中，P个所述第一类环带膜层和Q个所述第二类环带膜层依次交替设置，且，P个所述第一类环带膜层和Q个所述第二类环带膜层的厚度各不相同。提高了菲涅尔波带片衍射成像效率和分辨率，达到通过所述菲涅尔波带片获得的X射线对样品的高质量成像的技术效果。
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公开(公告)号：CN114764192A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110033950.4
申请日：2021-01-11
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜菲涅尔波带片的设计方法及系统，获得第一光源能量信息；获得所述多层膜菲涅尔波带片的应用焦距；获得所述多层膜菲涅尔波带片的分辨率信息；确定菲涅尔波带片的最外环宽度；确定多层膜菲涅尔波带片的半径；确定所述多层膜菲涅尔波带片的环带宽度；获得所述第一光源下菲涅尔波带片衍射效率，根据所述菲涅尔波带片衍射效率确定第一材料和第一厚度范围；根据所述第一材料、第一厚度范围、多层膜菲涅尔波带片的半径、多层膜菲涅尔波带片的环带宽度，构建多层膜菲涅尔波带片的模型。解决了现有技术中对于高分辨率的多层膜菲涅尔波带片的设计方法仍然不够完善，缺少高分辨率多层膜菲涅尔波带片设计方法的技术问题。
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