-
公开(公告)号：CN106597527B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201710124425.7
申请日：2017-03-03
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01V1/18
摘要： 本发明提供了一种一体化三轴电化学地震检波器，包括：外壳，其具有至少三个上下贯穿的流道；弹性膜，分别覆盖外壳的上、下端，与外壳一起形成一密闭的空间；敏感单元，分别设置在至少三个上下贯穿的流道中；电解质溶液，密封在由外壳、弹性膜及敏感单元形成的腔室中，在敏感单元的电极表面流动；流阻块，设置在外壳与覆盖其上端的弹性膜之间，用于将各流道间隔开。本发明还提供了一种采用所述地震检波器进行检测的方法。本发明提供的一体化三轴电化学地震检波器及其检测方法，实现了三轴振动的检测，采用的铂电极数量明显减少，且不需要采用正交支架，占用空间小，成本低，有利于三轴电化学地震检波器的集成和应用。
-
公开(公告)号：CN106597527A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201710124425.7
申请日：2017-03-03
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01V1/18
CPC分类号： G01V1/181
摘要： 本发明提供了一种一体化三轴电化学地震检波器，包括：外壳，其具有至少三个上下贯穿的流道；弹性膜，分别覆盖外壳的上、下端，与外壳一起形成一密闭的空间；敏感单元，分别设置在至少三个上下贯穿的流道中；电解质溶液，密封在由外壳、弹性膜及敏感单元形成的腔室中，在敏感单元的电极表面流动；流阻块，设置在外壳与覆盖其上端的弹性膜之间，用于将各流道间隔开。本发明还提供了一种采用所述地震检波器进行检测的方法。本发明提供的一体化三轴电化学地震检波器及其检测方法，实现了三轴振动的检测，采用的铂电极数量明显减少，且不需要采用正交支架，占用空间小，成本低，有利于三轴电化学地震检波器的集成和应用。
-
公开(公告)号：CN107367771A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710563494.8
申请日：2017-07-11
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个电极层通孔；所述电极层通孔与所述支撑基板通孔之间形成通道。此外，本发明还提供了一种电化学地震检波器敏感电极的制备方法。通过本发明，减小了阴阳电极间距，因此可以大幅提高敏感电极的灵敏度，同时降低了组装难度，制备方法简单，成本低。
-
公开(公告)号：CN106908834A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201710091426.6
申请日：2017-02-20
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01V1/18
CPC分类号： G01V1/181 , G01V2210/144
摘要： 本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用于将敏感电极输出的电信号进行处理，得到负反馈信号；反馈组件，其输入端电性连接至信号处理电路，用于利用负反馈信号向惯性摆体施加与外界震动输入力相反的力，以减小惯性摆体因外界震动输入力而产生的位移。本发明通过一种适用于小型MEMS电化学微震检波器的力平衡负反馈机制，以达到拓展小型MEMS电化学微震检波器工作频带的目的。
-
公开(公告)号：CN107367771B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201710563494.8
申请日：2017-07-11
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个电极层通孔；所述电极层通孔与所述支撑基板通孔之间形成通道。此外，本发明还提供了一种电化学地震检波器敏感电极的制备方法。通过本发明，减小了阴阳电极间距，因此可以大幅提高敏感电极的灵敏度，同时降低了组装难度，制备方法简单，成本低。
-
公开(公告)号：CN106908834B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201710091426.6
申请日：2017-02-20
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01V1/18
摘要： 本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用于将敏感电极输出的电信号进行处理，得到负反馈信号；反馈组件，其输入端电性连接至信号处理电路，用于利用负反馈信号向惯性摆体施加与外界震动输入力相反的力，以减小惯性摆体因外界震动输入力而产生的位移。本发明通过一种适用于小型MEMS电化学微震检波器的力平衡负反馈机制，以达到拓展小型MEMS电化学微震检波器工作频带的目的。
-
-
-
-
-
搜索结果
6 条记录 (耗时 0.04 秒)