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公开(公告)号：CN1258071C
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN02155880.9
申请日：2002-12-13
Applicant: 中国科学院自动化研究所
Abstract: 一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，铁芯(9)放置在第一线圈(10)和第二线圈(8)之间；测杆(7)，其一端连接铁芯(9)，另一端连接测杆触头(5)；精度为纳米级的微进给装置(6)的上下两端固定在测杆(7)上，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量；所述控制部分根据被侧物体的位移控制精度为纳米级的微进给装置(6)。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。
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公开(公告)号：CN1508510A
公开(公告)日：2004-06-30
申请号：CN02155880.9
申请日：2002-12-13
Applicant: 中国科学院自动化研究所
Abstract: 一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和(8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)；微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。
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公开(公告)号：CN2586131Y
公开(公告)日：2003-11-12
申请号：CN02292711.5
申请日：2002-12-13
Applicant: 中国科学院自动化研究所
Abstract: 一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和(8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)；微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量。本实用新型针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。
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