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公开(公告)号:CN117517255A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311515104.1
申请日:2023-11-14
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01N21/41 , G01N21/359
Abstract: 本发明涉及光学技术领域,尤其涉及一种分裂椭圆型超表面折射率传感器及其制备方法,传感器包括:基底和全介质超表面结构阵列;全介质超表面结构阵列包括多个全介质超表面单元结构,多个全介质超表面单元结构周期性的排列在基底上,全介质超表面单元结构包括第一纳米柱和第二纳米柱,第一纳米柱和第二纳米柱均是沿着短轴切分的半椭圆柱,第一纳米柱和第二纳米柱相对布置且不接触,第一纳米柱和第二纳米柱的长轴在同一条直线上,且第一纳米柱和第二纳米柱的短轴均与分裂椭圆型超表面折射率传感器的边长方向的夹角为45°。本发明采用全介质材料代替具有欧姆损耗的金属材料,通过打破分裂椭圆结构的对称性获得了高品质因子的谐振峰。
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公开(公告)号:CN117518453A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311596448.X
申请日:2023-11-27
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及光谱技术领域,具体提供一种双向驱动F‑P滤波器件结构及其制备方法,包括:第一静态电极和第二静态电极,位于第一静态电极和第二静态电极之间的可动电极,可动电极和所述第一静态电极之间设有第一绝缘支撑件,可动电极和所述第二静态电极之间设有第二绝缘支撑件,可动电极上设有第一介质层反射镜,第二静态电极上还设有第二介质层反射镜,第一静态电极具有通光孔,通光孔与第一介质层反射镜、第二介质层反射镜共光轴,通过利用双向驱动结构能够实现双向驱动范围,提高了器件的稳定性和鲁棒性。
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公开(公告)号:CN117517256A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311515132.3
申请日:2023-11-14
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01N21/41 , G01N21/359
Abstract: 本发明涉及光学技术领域,尤其涉及一种基于Fano共振的近红外超表面折射率传感器及其制备方法,传感器包括:基底和全介质超表面结构阵列;全介质超表面结构阵列包括多个全介质超表面单元结构,多个全介质超表面单元结构周期性的排列在基底上,全介质超表面单元结构包括第一纳米棒和第二纳米棒,第一纳米棒和第二纳米棒并排布置。本发明利用准束缚态模式(q‑BIC)在近红外(1400nm‑1700nm)激发双重Fano共振,能够获得较高的灵敏度,提高超表面折射率传感器的灵敏度、品质因子Q和信噪比。
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