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发明公开
测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法审中-公开

公开(公告)号：CN117268597A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311226952.0

申请日：2023-09-21

申请人： 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所

发明人： 王雄 , 郭辉辉 , 蒋万秋 , 许晓斌 , 周唯 , 崔炜栋 , 邱一峰

IPC分类号： G01L1/14

摘要： 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法。MEMS摩阻传感器分解为浮动元件、硅微结构、电极基板、接口电路和封装管壳，再分别加工、组装。制作方法包括微组装设备和微组装方法。设计方法包括力学分析、力学计算、工艺设计和位移计算。本发明的测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法实现了MEMS摩阻传感器的复杂环境测量能力，测量范围0～100Pa、分辨率0.1Pa、测量带宽0～200Hz，具有体积小、温度稳定性好、可靠性高等特点，能够精确测量复杂气动外形的表面摩擦阻力。