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发明公开
膜片式压电驱动器缺陷检测方法无效

公开(公告)号：CN105675648A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201410654118.6

申请日：2014-11-17

申请人： 中国航空工业第六一八研究所

发明人： 张华伟 , 耿岚昱 , 陈宁 , 王朋国 , 焦潞铭

IPC分类号： G01N27/00

摘要： 本发明属于压电驱动器缺陷检测技术，涉及一种激光陀螺用压电驱动器的缺陷检测方法。本发明属于膜片式压电驱动器检测方法，通过测试膜片式压电驱动器的幅频特性曲线，即通过压电元件内部缺陷、压电陶瓷片与连接基体的连接的缺陷对压电元件的振动模式的影响，从而定性检测压电片的内部缺陷、压电陶瓷片与连接基体的连续性缺陷检测。依靠本方法，可实现检测压电元件的内部缺陷和压电驱动器连接层的连续性缺陷检测，且操作简单，易行，实现了无损检测。相对传统检测方式，可直接检测产品缺陷和连接层缺陷，有检测效率高、检测精度高、检测成本低的优点。