一种耐腐蚀的油中水分湿敏电容
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111812165A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010661765.5

    申请日:2020-07-10

    IPC分类号: G01N27/22

    摘要: 本发明涉及传感器技术领域,涉及一种耐腐蚀的油中水分湿敏电容;包括耐腐蚀透气保护膜(1)、透气金属上电极(2)、湿敏材料(3)、下电极(4)、衬底(6)、湿敏电容的电极焊盘(5);本发明通过改进湿敏电容结构并在透气金属上电极的上表面引入了耐腐蚀透气保护膜,当水分子透过耐腐蚀透气保护膜(1)和透气金属上电极(2)进入湿敏材料后,将改变湿敏材料(3)的介电常数,进而改变下电极(4)和透气金属上电极(2)构成平板电容的电容值,实现对油中水分含量的检测,避免腐蚀性油液对湿敏薄膜的腐蚀,提高湿敏电容在腐蚀性油液中的可靠性、稳定性的关键技术指标。