公开(公告)号：CN107144224B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201710469151.5

申请日：2017-06-16

申请人： 中国计量大学

发明人： 朱鹤年 ,  沈小燕 ,  李东升 ,  蔡晋辉 ,  孙志鹏

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 本发明公开了一种用F‑P标准具测量二维微位移的装置与方法。包括光源、柔性光纤和面阵成像器件，光源与柔性光纤连接，柔性光纤输出端前方布置面阵成像器件，柔性光纤和面阵成像器件之间设置有准光组合部件，通过准光组合部件将柔性光纤出射的光束处理成共轴同圆心的一系列同心圆并成像到面阵成像器件上，准光组合部件包括滤光片、F‑P标准具和物镜；计算每个圆环分别沿坐标轴方向的圆心坐标，确定每个圆环的圆心坐标，由面阵成像器件移动前后的圆心坐标相减获得二维微位移值。本发明测量装置简单紧凑且造价较低，方法微位移重复性标准差可达20nm以下，准确度高。

公开(公告)号：CN107144224A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710469151.5

申请日：2017-06-16

申请人： 中国计量大学

发明人： 朱鹤年 ,  沈小燕 ,  李东升 ,  蔡晋辉 ,  孙志鹏

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B11/02

摘要： 本发明公开了一种用F‑P标准具测量二维微位移的装置与方法。包括光源、柔性光纤和面阵成像器件，光源与柔性光纤连接，柔性光纤输出端前方布置面阵成像器件，柔性光纤和面阵成像器件之间设置有准光组合部件，通过准光组合部件将柔性光纤出射的光束处理成共轴同圆心的一系列同心圆并成像到面阵成像器件上，准光组合部件包括滤光片、F‑P标准具和物镜；计算每个圆环分别沿坐标轴方向的圆心坐标，确定每个圆环的圆心坐标，由面阵成像器件移动前后的圆心坐标相减获得二维微位移值。本发明测量装置简单紧凑且造价较低，方法微位移重复性标准差可达20nm以下，准确度高。