公开(公告)号：CN118974894A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031774.8

申请日：2023-04-05

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 奥村雄三 ,  照井贵阳 ,  吉田彩香

IPC: H01L21/304

Abstract: 本发明的表面处理组合物用于以蒸气的形式供给至表面具有凹凸图案的晶圆的表面、并在表面上形成拒水性保护膜，该表面处理组合物包含甲硅烷基化剂和溶剂，其中，甲硅烷基化剂包含(R1)3Si‑X(其中，R1分别独立为选自由碳数1～10的烃基、及氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳数1～10的烃基组成的组中的基团，X为氨基)所示的硅化合物，前述溶剂包含在溶剂的总量100质量％中为75质量％以上的烃溶剂。

公开(公告)号：CN118451534A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202280086237.9

申请日：2022-12-28

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 奥村雄三 ,  铁村美月 ,  吉田彩香 ,  盐田彩织 ,  照井贵阳

IPC: H01L21/304 ,  C09K3/18

Abstract: 本公开的膜形成用组合物为用于供给至表面由质子性液体覆盖的状态的基板、在其表面的至少一部分形成拒水性膜的膜形成用组合物，所述膜形成用组合物包含：甲硅烷基化剂，其将基板的表面甲硅烷基化；催化性化合物，其促进基于甲硅烷基化剂的甲硅烷基化反应；和，非质子性溶剂，催化性化合物的含量在该膜形成用组合物100质量％中为1.0质量％以上。