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公开(公告)号：CN117174552A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310962245.1
申请日：2023-08-01
Applicant: 中山大学
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明公开了一种电子束形可调控的共面四极聚焦结构冷阴极电子枪，包括阴极、栅极、下聚焦极、共面四极聚焦结构、上聚焦极、阳极和隔离体；所述阴极、栅极、下聚焦极、共面四极聚焦结构、上聚焦极、阳极的中心位于同一轴心上，且由下到上依次设置，并通过隔离体将各个电极结构组合为一体结构；共面四极聚焦结构可设置不同电压值，通过调控电压参数组合形成非均匀截面空间电场；通过调节施加于共面四极聚焦结构的电压值组合，产生非均匀截面电场，实现对电子束进行束形、焦斑径向移动调控。本发明技术实现方法简单，能够根据应用对象需求产生不同形状要求的电子束，在微波太赫兹波真空电子器件、电子束曝光、电子显微成像等中有应用价值。
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