公开(公告)号：CN221471761U

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202323362988.X

申请日：2023-12-11

申请人： 中建材(浙江)材料科技有限公司

发明人： 田文龙 ,  程华 ,  解晓宁 ,  马玙晗 ,  赵震环 ,  周嘉郁 ,  杨小亮 ,  刘阳

IPC分类号： B01J3/00 ,  C01B33/113 ,  B01D5/00 ,  B08B9/087

摘要： 本实用新型公开了一种氧化亚硅沉积取料装置，包括安装台以及反应装置，所述反应装置安装在安装台上，所述反应装置的一侧设置有为反应装置提供负压环境的负压泵，所述反应装置的另一侧通过气体流道连接有沉积仓，所述沉积仓内设置有转动轴，所述转动轴外固定套接有刮板，所述转动轴的一端穿出沉积仓连接有驱动机构以及供气机构，所述供气机构通过通孔将氩气导入沉积仓内。在本实用新型，转动轴位于沉积仓内腔的正中心，使得转动轴周边的温度是沉积仓内最低的，也是氧化亚硅优先快速冷凝的区域，使得越远离转动轴的地方冷凝的量越小，从而使得沉积仓内壁上粘黏的氧化亚硅的量变少，从而降低了刮板刮除氧化亚硅时发出的噪音。