公开(公告)号：CN213172547U

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202021905778.4

申请日：2020-09-03

申请人： 中建材光电装备(太仓)有限公司

发明人： 周慕蓉 ,  罗雨潇 ,  付成杰 ,  刘宇 ,  张钟宇

IPC分类号： C23C14/35

摘要： 本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体是一种低辐射镀膜线用遮板装置，包括遮挡板和密封轴，所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接，所述密封轴的另一端设置有环套，所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈，所述第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈的外部包覆有密封套。本实用新型的有益效果是，通过设置的第一密封件、第二密封件、无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和挡圈，可以有效阻挡外部空气进入磁控溅射镀膜的工作空间内，遮挡板可以实现360度转动，而不影响其密封性能，装置的整体结构较简单，而且组装安装都比较方便，成本低。

公开(公告)号：CN215856315U

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202122376952.1

申请日：2021-09-29

申请人： 中建材光电装备(太仓)有限公司

发明人： 胡本成 ,  李险峰 ,  吕晓阳 ,  周慕蓉 ,  刘宇 ,  付成杰

IPC分类号： C23C14/56 ,  C03C17/00

摘要： 本实用新型提供一种真空镀膜设备外张紧装置，它包括传送带机架，其特征在于：机架上连接有定位块（1），在定位块（1）两端分别铰接有连接板（2），在连接板（2）上跨接有与传送带对应配合的托辊（3），在连接板（2）一端铰接有连接轴（4），在连接轴（4）上设有抬升装置（5）。本实用新型结构简单，使用方便，可以直接安装在传送带机架上，能有效的对松弛的传送带进行正张紧。

公开(公告)号：CN215845889U

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202122377860.5

申请日：2021-09-29

申请人： 中建材光电装备(太仓)有限公司

发明人： 胡本成 ,  李险峰 ,  吕晓阳 ,  付成杰 ,  周慕蓉 ,  刘宇

IPC分类号： B23B47/00 ,  B23B49/02

摘要： 实用新型提供一种真空镀膜设备翻板阀气缸改造的定位工装，它包括设置在真空镀膜设备外壁（1）上与气缸摆动架连接配合的安装座（4），其特征在于：在安装座（4）上连接有定位工装（5，所述的定位工装（5）包括与安装座（4）连接配合的连接板（5a），在连接板（5a）上设有连杆（5b），在连杆（5b）一端设有基板（5c）,在基板（5c）上设有一组通孔（5d）。本实用新型结构简单、使用方便，便于对现有的真空镀膜设备进行翻板阀气缸位置改造，提供精确的气缸安装架的定位，确保了气缸安装架安装精度，有效的保证了设备改造效率，提高了生产效率。