公开(公告)号：CN119483539A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411415066.7

申请日：2024-10-11

Applicant: 中电科技德清华莹电子有限公司

Inventor： 李勇 ,  张敖宇 ,  王志超 ,  季玉平 ,  肖功亚 ,  梁红艳 ,  朱卫俊 ,  施旭霞 ,  钱广

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/02

Abstract: 本发明提供一种可抑制杂散模式且具有调谐特性的弹性波装置，属于通信电子器件技术领域，包括压电基底和激励电极，所述激励电极置于压电基底上表面，所述压电基底包括复合衬底和压电薄膜，所述激励电极至少包括叉指换能器和汇流条，所述压电薄膜表面设有刻蚀窗口，所述刻蚀窗口包括T型刻蚀窗口和L型刻蚀窗口，分别构成T型结构弹性波装置和L型结构弹性波装置。刻蚀窗口通过匹配界面间声阻抗、优化电场分布和制造反射边界等方案实现了杂散模式的抑制，并且通过控制刻蚀深度能够调整目标模式的谐振频段，适用于多类型声波器件，尤其对于高性能滤波器的低插损、小纹波以及大带宽需求。