公开(公告)号：CN107328739A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710540684.8

申请日：2017-07-05

申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司

发明人： 马晋毅 ,  张祖伟 ,  袁宇鹏 ,  胡少勤 ,  吴传贵 ,  罗文博 ,  马恺祺

IPC分类号： G01N21/39 ,  G01N21/3504

摘要： 本发明公开了一种全集成式红外气体传感器，包括：气孔层、光腔层、电路层及发光二极管，所述气孔层上设置有若干气孔，所述光腔层上设置有若干微型槽及红外光源入射窗口，所述发光二极管设置于电路层上，所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室，所述红外光源入射窗口用于接收由发光二极管所发出的红外激光；所述电路层位于光腔层上背离气孔层的一面，所述电路层用于根据所需发出的特征红外光源波长信息控制发光二极管所发出的红外激光，并将经过被测气体吸收之后的红外激光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种上述红外气体传感器的工作方法。

公开(公告)号：CN107328730B

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201710540697.5

申请日：2017-07-05

申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 ,  中国电子科技集团公司第二十六研究所

发明人： 胡少勤 ,  杨靖 ,  张祖伟 ,  马晋毅 ,  袁宇鹏 ,  马恺祺

IPC分类号： G01N21/3504

摘要： 本发明公开一种全集成式红外气体传感器，包括：压电微泵层、气孔层、光腔层、电路层、红外光源、滤光片及红外敏感元，所述电路层用于输出周期性电压时序控制信号至压电微泵层以控制所述压电微泵层进行上抬或下压动作，当所述压电微泵层下压且完全遮蔽气孔层上的气孔时，所述电路层还用于输出控制信号至红外光源以使得所述红外光源发出红外光，所述滤光片用于滤除非被测气体红外特征吸收波段的红外光，所述红外敏感元用于将经过滤光片滤除及经过被测气体吸收之后的红外光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种全集成式红外气体传感器的工作方法。

公开(公告)号：CN107328739B

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201710540684.8

申请日：2017-07-05

申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 ,  中国电子科技集团公司第二十六研究所

发明人： 马晋毅 ,  杨靖 ,  张祖伟 ,  袁宇鹏 ,  胡少勤 ,  马恺祺

IPC分类号： G01N21/39 ,  G01N21/3504

摘要： 本发明公开了一种全集成式红外气体传感器，包括：气孔层、光腔层、电路层及发光二极管，所述气孔层上设置有若干气孔，所述光腔层上设置有若干微型槽及红外光源入射窗口，所述发光二极管设置于电路层上，所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室，所述红外光源入射窗口用于接收由发光二极管所发出的红外激光；所述电路层位于光腔层上背离气孔层的一面，所述电路层用于根据所需发出的特征红外光源波长信息控制发光二极管所发出的红外激光，并将经过被测气体吸收之后的红外激光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种上述红外气体传感器的工作方法。

公开(公告)号：CN107328730A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710540697.5

申请日：2017-07-05

申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司

发明人： 胡少勤 ,  张祖伟 ,  马晋毅 ,  袁宇鹏 ,  吴传贵 ,  罗文博 ,  马恺祺

IPC分类号： G01N21/3504

摘要： 本发明公开一种全集成式红外气体传感器，包括：压电微泵层、气孔层、光腔层、电路层、红外光源、滤光片及红外敏感元，所述电路层用于输出周期性电压时序控制信号至压电微泵层以控制所述压电微泵层进行上抬或下压动作，当所述压电微泵层下压且完全遮蔽气孔层上的气孔时，所述电路层还用于输出控制信号至红外光源以使得所述红外光源发出红外光，所述滤光片用于滤除非被测气体红外特征吸收波段的红外光，所述红外敏感元用于将经过滤光片滤除及经过被测气体吸收之后的红外光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种全集成式红外气体传感器的工作方法。