公开(公告)号：CN107256835B

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：CN201710411744.6

申请日：2017-06-05

申请人： 中芯长电半导体(江阴)有限公司

发明人： 陈朕

IPC分类号： H01L21/66

摘要： 本发明提供一种凸块缺陷检测方法，包括：获取第一标准影像；获取不完整裸片的黑白图像；将不完整裸片的黑白图像与第一标准影像对比，将缺失部分定义为白色缺陷并过滤掉，利用第一算法检测出不完整裸片表面的凸块缺陷；采用相同方法检测完整裸片的凸块缺陷，或者获取第二标准影像；获取完整裸片的灰度图像；将完整裸片的灰度图像与第二标准影像比对，根据第二算法筛查出完整裸片表面的凸块缺陷。本发明对不完整裸片进行表面缺陷的扫描，通过机台光学原理获取黑白图像，调用算法过滤白色缺陷，对尺寸、面积进行卡控，进而准确扫描凸块缺陷，效率和准确性都大大提高。

公开(公告)号：CN107256835A

公开(公告)日：2017-10-17

申请号：CN201710411744.6

申请日：2017-06-05

申请人： 中芯长电半导体(江阴)有限公司

发明人： 陈朕

IPC分类号： H01L21/66

摘要： 本发明提供一种凸块缺陷检测方法，包括：获取第一标准影像；获取不完整裸片的黑白图像；将不完整裸片的黑白图像与第一标准影像对比，将缺失部分定义为白色缺陷并过滤掉，利用第一算法检测出不完整裸片表面的凸块缺陷；采用相同方法检测完整裸片的凸块缺陷，或者获取第二标准影像；获取完整裸片的灰度图像；将完整裸片的灰度图像与第二标准影像比对，根据第二算法筛查出完整裸片表面的凸块缺陷。本发明对不完整裸片进行表面缺陷的扫描，通过机台光学原理获取黑白图像，调用算法过滤白色缺陷，对尺寸、面积进行卡控，进而准确扫描凸块缺陷，效率和准确性都大大提高。

公开(公告)号：CN206930599U

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201720726312.X

申请日：2017-06-21

申请人： 中芯长电半导体(江阴)有限公司

发明人： 李丽 ,  方建勋 ,  陈圣白 ,  陈明志 ,  陈朕 ,  靳春阳

IPC分类号： G01N23/04

摘要： 本实用新型提供一种半导体制程检测装置，包括：X射线发生器，设置于所述X射线发生器的光线出射端口的滤波器；所述滤波器包括支架及过滤板，所述支架将所述过滤板固定于所述X射线发生器的光线出射端口，所述过滤板的材质为锌或锌的混合物。本实用新型的半导体制程检测装置通过在X射线的发生端口安装锌过滤板来滤除对成像没有贡献，且对半导体产品产生物理损伤的低能量X射线光子，在不影响空洞检测的情况下，有效降低半导体产品的物理损伤。