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公开(公告)号:CN107849167A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201680036639.2
申请日:2016-04-15
Applicant: 丸善石油化学株式会社
IPC: C08F6/00 , C08F212/14 , C08F297/00 , C08G8/20
Abstract: 本发明提供制造金属离子杂质的含量少的电子材料用聚合物的方法及利用该方法得到的电子材料用聚合物。本发明的电子材料用聚合物的制造方法包括下述工序:聚合工序,使单体进行聚合反应而得到聚合物;和纯化工序,向包含聚合物的聚合物溶液中添加具有0以下的pKa的强酸,然后实施离子交换处理,降低金属离子杂质浓度。
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公开(公告)号:CN111902437A
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN201980017718.2
申请日:2019-02-20
Applicant: 丸善石油化学株式会社
Abstract: 通过以下的式(1)(式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数为1~6的脂肪族烃基,m表示0~5的整数,n表示0~4的整数)所表示的化合物,提供可用于灵敏度、分辨率、蚀刻耐性优异的抗蚀剂用树脂等的化合物。
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公开(公告)号:CN112041353A
公开(公告)日:2020-12-04
申请号:CN201980017644.2
申请日:2019-02-20
Applicant: 丸善石油化学株式会社
Abstract: 通过以下的式(1)(式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数为1~6的脂肪族烃基,m表示0~5的整数,n表示0~4的整数)所表示的化合物,提供可用于灵敏度、分辨率、蚀刻耐性优异的抗蚀剂用树脂等的化合物。
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公开(公告)号:CN111902437B
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN201980017718.2
申请日:2019-02-20
Applicant: 丸善石油化学株式会社
Abstract: 通过以下的式(1),(式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数为1~6的脂肪族烃基,m表示0~5的整数,n表示0~4的整数)所表示的化合物,提供可用于灵敏度、分辨率、蚀刻耐性优异的抗蚀剂用树脂等的化合物。
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公开(公告)号:CN112041353B
公开(公告)日:2022-01-14
申请号:CN201980017644.2
申请日:2019-02-20
Applicant: 丸善石油化学株式会社
Abstract: 通过以下的式(1)(式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数为1~6的脂肪族烃基,m表示0~5的整数,n表示0~4的整数)所表示的化合物,提供可用于灵敏度、分辨率、蚀刻耐性优异的抗蚀剂用树脂等的化合物。
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公开(公告)号:CN107849167B
公开(公告)日:2021-02-23
申请号:CN201680036639.2
申请日:2016-04-15
Applicant: 丸善石油化学株式会社
IPC: C08F6/00 , C08F212/14 , C08F297/00 , C08G8/20
Abstract: 本发明提供制造金属离子杂质的含量少的电子材料用聚合物的方法及利用该方法得到的电子材料用聚合物。本发明的电子材料用聚合物的制造方法包括下述工序:聚合工序,使单体进行聚合反应而得到聚合物;和纯化工序,向包含聚合物的聚合物溶液中添加具有0以下的pKa的强酸,然后实施离子交换处理,降低金属离子杂质浓度。
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