公开(公告)号：CN108318592A

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201810006973.4

申请日：2018-01-04

Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司

Inventor： 曹岩德 ,  安军林 ,  陈英春 ,  赵倩倩 ,  周慧娟 ,  马文娟

IPC: G01N30/02 ,  G01N30/20

CPC classification number: G01N30/02 ,  G01N30/20 ,  G01N2030/201

Abstract: 本发明提供一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法，属于多晶硅生产检测技术领域。检测装置的进样口、第一色谱柱、第二色谱柱和检测器依次连通，控制阀设置于第一色谱柱和第二色谱柱之间用于控制第一色谱柱和第二色谱柱的连通与断开。检测方法是以定量的多晶硅生产尾气先从进样口通入第一色谱柱，当检测器检测到硅烷峰出完以后，调节控制阀使第一色谱柱与第二色谱柱之间断开，将硅烷峰与标准硅烷峰对比，计算得到多晶硅生产尾气中痕量硅烷的量。使用上述检测装置的检测方法的检测结果更加准确，排除了尾气中的其他杂质气体，如：氯化氢、氯硅烷等，避免杂质气体进入检测器，使硅烷的检测更加准确、可靠、重复性好。

公开(公告)号：CN109569262A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811594353.3

申请日：2018-12-25

Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司

Inventor： 安军林 ,  田润朝 ,  曹岩德 ,  周慧娟 ,  乔琳琳 ,  王海礼 ,  魏东亮

IPC: B01D53/81 ,  B01D53/68 ,  G01N33/00

CPC classification number: B01D53/81 ,  B01D53/68 ,  B01D2257/204 ,  G01N33/0036

Abstract: 本发明涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种去除多晶硅尾气中氯硅烷的方法，包括以下处理工序：收集，收集多晶硅尾气；冷凝，将收集到的多晶硅尾气进行冷凝处理，使其析出部分氯硅烷；吸收，将冷凝处理后的多晶硅尾气通过吸附剂，继续吸附除去尾气内残留的氯硅烷。还公开了一种去除多晶硅尾气中氯硅烷的装置，包括取样组件和深冷机构；所述取样组件上连接有管路，管路穿过深冷机构经冷却后连接有吸附组件，吸附组件内填充有吸附剂；所述吸附组件具有出口。本去除多晶硅尾气中氯硅烷的方法及装置可以去除尾气中的氯硅烷，操作方便有效，能在检测尾气中痕量磷化氢气体含量时，保护检测装置，延长其使用寿命，降低检测成本。