公开(公告)号：CN115973773A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211635463.6

申请日：2022-12-19

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 张堉彬 ,  张文睿 ,  王大伟 ,  孙泉钦 ,  罗瑞玺 ,  修瑞棋 ,  李志伟

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G69/20 ,  G02F1/13

摘要： 本公开实施例提供一种支撑转移装置、基板的转移方法以及固化系统。该支撑转移装置包括承载台；多个支撑组件，所述支撑组件包括顶针，所述顶针包括支撑杆以及与所述支撑杆的一端连接的支撑部，所述支撑组件被配置为相对于所述承载台移动以使得所述支撑部与待处理基板接触并将所述待处理基板转移至所述承载台；其中，所述支撑杆内部具有第一气流通道，所述第一气流通道被配置为供气体流通，以对所述支撑部进行温度调节。该支撑转移装置可以对顶针进行降温，防止顶针接触待处理基板时由于局部过热造成基板表面液体流平效果差。