检测装置及其检测方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113899959B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202111362129.3

    申请日:2021-11-17

    IPC分类号: G01R29/12 H05F3/04 H01L21/66

    摘要: 本发明提供一种检测装置及其检测方法,涉及检测技术领域,为解决在将显示基板从检测装置上取下时,容易产生静电不良的问题。所述检测装置包括:机台和多个支撑针;支撑针能够在支撑状态和非支撑状态之间切换;在支撑状态下,所述支撑针伸出所述机台撑起待测基板,在非支撑状态下,所述支撑针与所述待测基板分离;所述支撑针包括:支撑臂和放电结构;所述支撑臂限定出第一腔室;所述支撑臂上设置有进气口和出气口,所述进气口和所述出气口均与所述第一腔室连通,在所述支撑状态下能够控制所述出气口的高度高于所述机台的表面的高度;所述放电结构的至少部分位于所述第一腔室内,所述放电结构包括放电部,所述放电部的放电端从所述出气口伸出。

    检测装置及其检测方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113899959A

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN202111362129.3

    申请日:2021-11-17

    IPC分类号: G01R29/12 H05F3/04 H01L21/66

    摘要: 本发明提供一种检测装置及其检测方法,涉及检测技术领域,为解决在将显示基板从检测装置上取下时,容易产生静电不良的问题。所述检测装置包括:机台和多个支撑针;支撑针能够在支撑状态和非支撑状态之间切换;在支撑状态下,所述支撑针伸出所述机台撑起待测基板,在非支撑状态下,所述支撑针与所述待测基板分离;所述支撑针包括:支撑臂和放电结构;所述支撑臂限定出第一腔室;所述支撑臂上设置有进气口和出气口,所述进气口和所述出气口均与所述第一腔室连通,在所述支撑状态下能够控制所述出气口的高度高于所述机台的表面的高度;所述放电结构的至少部分位于所述第一腔室内,所述放电结构包括放电部,所述放电部的放电端从所述出气口伸出。

    自适应调节探针
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209014625U

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201821436990.3

    申请日:2018-09-03

    IPC分类号: G01R1/073

    摘要: 本申请公开了一种自适应调节探针,包括壳体,所述壳体内设置有可沿所述壳体上下移动的探针,所述探针可部分伸出所述壳体,所述探针未伸出所述壳体的一端连接有弹簧,所述弹簧另一端连接至限位滑块,所述壳体部分内壁为阻尼内壁,所述限位滑块沿所述阻尼内壁上下滑动。根据本申请实施例提供的技术方案,通过将壳体内壁设置成部分阻尼内壁,同时增加限位滑块沿该阻尼内壁滑动,探针可在壳体内继续移动使得该探针能够覆盖新的高度,且在探针抬起的时候探针整体长度缩短,保证在与基板接触时探针部分始终位于弹簧自由压缩的范围内,保证探针与基板的压力在可控范围内,不会出现砸伤基板的问题。