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实用新型
一种真空干燥设备有权

公开(公告)号：CN216282351U

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202122100969.4

申请日：2021-08-31

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 绵阳京东方光电科技有限公司

发明人： 谌建州 , 李志宾 , 杨明倚 , 谢勇

IPC分类号： F26B5/04 , F26B21/00 , F26B25/12

摘要： 本实用新型提供了一种真空干燥设备，包括：腔室，设置有气体输入口；第一加热组件，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内部进行加热以保持恒温；气体输送管路，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内输送解除真空状态的气体；所述气体输送管路的入口端与所述气体输入口相连，出口端延伸至所述腔室内远离所述气体输入口的位置。本实用新型使得气体在引入腔室的过程中，能够充分的与被加热至恒温的气体输送管路进行热交换而温度升高，进而在离开气体输送管路与腔室内蒸发出的溶剂蒸汽相接触后，不会因为温差过大使溶剂蒸汽发生冷凝，以防止溶剂在腔室内壁附着后再滴落至柔性基板上的不良现象，能够有效的提高产品良率和设备的稼动率。