基板夹持装置及蒸镀设备

    公开(公告)号:CN110512184A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201910933014.1

    申请日:2019-09-29

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/24 C23C14/04

    摘要: 本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备,该基板夹持装置包括:夹持板,包括第一表面及第一表面的四个侧边;多个支撑单元,夹持板的每一侧边上对应设置一个支撑单元,每一支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆,支撑杆与夹持板之间在垂直于第一表面的方向上保持预定距离;在支撑杆的面向夹持板的一侧,和/或第一表面上对应各支撑杆的位置设置凹凸结构,凹凸结构用于使得支撑杆与夹持板之间形成支撑间隙,支撑间隙在第一方向上的宽度与凹凸结构在第一方向上的高度之和等于预定距离。本发明能够使基板与掩膜版的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致,改善基板与掩膜版贴合状态不好的现象。

    一种蒸发源组件及蒸镀装置

    公开(公告)号:CN110079769A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910461148.8

    申请日:2019-05-30

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本发明涉及蒸镀技术领域,公开了一种蒸发源组件及蒸镀装置,该蒸发源组件包括:至少两个并排设置的蒸发源以及角度板组件,角度板组件包括垂直于蒸发源顶面的多个并排设置的固定板,多个固定板中每两个相邻的固定板之间形成一蒸发通道,角度板组件形成的蒸发通道与蒸发源一一对应;每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中,蒸发源的喷嘴位于蒸发通道内,且与喷嘴紧邻的固定板上设有朝向蒸发通道内部延伸的遮挡板,且相对于蒸发源的顶面,遮挡板伸入蒸发通道内的自由端高于喷嘴顶端。该蒸发源组件中利用遮挡板限定喷嘴的蒸发角度,减小固定板的厚度,增加了蒸镀材料在角度板组件中的沉积空间,缓解蒸镀材料堵塞喷嘴的问题,增加连续生产时间,提高产能。

    基板夹持装置及蒸镀设备

    公开(公告)号:CN110512184B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201910933014.1

    申请日:2019-09-29

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/24 C23C14/04

    摘要: 本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备,该基板夹持装置包括:夹持板,包括第一表面及第一表面的四个侧边;多个支撑单元,夹持板的每一侧边上对应设置一个支撑单元,每一支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆,支撑杆与夹持板之间在垂直于第一表面的方向上保持预定距离;在支撑杆的面向夹持板的一侧,和/或第一表面上对应各支撑杆的位置设置凹凸结构,凹凸结构用于使得支撑杆与夹持板之间形成支撑间隙,支撑间隙在第一方向上的宽度与凹凸结构在第一方向上的高度之和等于预定距离。本发明能够使基板与掩膜版的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致,改善基板与掩膜版贴合状态不好的现象。

    一种蒸发源
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111188014B

    公开(公告)日:2023-02-07

    申请号:CN202010085088.7

    申请日:2020-02-10

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种蒸发源,涉及显示技术领域,包括坩埚,坩埚包括底部和设置于底部周向上的侧壁,底部和侧壁围成一端开口的容置腔;盖体,扣设开口,并与侧壁连接;喷嘴,固定连接于盖体远离容置腔的一侧,并与容置腔连通。本发明实施例通过将喷嘴和盖体固定连接,实现了喷嘴与盖体之间无螺纹结构,避免了蒸发源内蒸发材料的泄露,提升了镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性,以及真空镀膜设备的稼动率。

    一种蒸发源
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111188014A

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:CN202010085088.7

    申请日:2020-02-10

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种蒸发源,涉及显示技术领域,包括坩埚,坩埚包括底部和设置于底部周向上的侧壁,底部和侧壁围成一端开口的容置腔;盖体,扣设开口,并与侧壁连接;喷嘴,固定连接于盖体远离容置腔的一侧,并与容置腔连通。本发明实施例通过将喷嘴和盖体固定连接,实现了喷嘴与盖体之间无螺纹结构,避免了蒸发源内蒸发材料的泄露,提升了镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性,以及真空镀膜设备的稼动率。