公开(公告)号：CN106556460B

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201610648111.2

申请日：2016-08-09

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 明石卓也

IPC: G01H17/00

Abstract: 本发明公开了一种主动去振装置及该主动去振装置的振动传感器的设置方法。基于由基础侧加速度传感器(25、25)检测出的振动状态进行控制，以便将相位与从地板(F)传递的振动相反的控制振动施加于被隔离部件(2)支撑的被支撑体(H)，提高在地板(F)的振动状态不同的环境下的去振性能。测量地板(F)的在多个任意位置处的振动状态，对测得的振动状态进行比较来辨别所述地板(F)的具有彼此不同的振动状态的位置，并将基础侧加速度传感器(25、25)分别设置在已检测出的位置处。

公开(公告)号：CN106556460A

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201610648111.2

申请日：2016-08-09

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 明石卓也

IPC: G01H17/00

Abstract: 本发明公开了一种主动去振装置及该主动去振装置的振动传感器的设置方法。基于由基础侧加速度传感器(25、25)检测出的振动状态进行控制，以便将相位与从地板(F)传递的振动相反的控制振动施加于被隔离部件(2)支撑的被支撑体(H)，提高在地板(F)的振动状态不同的环境下的去振性能。测量地板(F)的在多个任意位置处的振动状态，对测得的振动状态进行比较来辨别所述地板(F)的具有彼此不同的振动状态的位置，并将基础侧加速度传感器(25、25)分别设置在已检测出的位置处。