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公开(公告)号：CN111886669A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201980011182.3
申请日：2019-02-15
申请人： 代尔夫特工业大学 , 应用材料以色列有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 一种用于检查样本的多束带电粒子柱，包括用于朝向样本指引多个初级带电粒子束的源、用于检测来自样本的信号带电粒子的检测器，以及布置在检测器和样本之间的组合的磁偏转单元和静电偏转单元。磁偏转单元(61)包括磁性或铁磁性材料的多个条(63)。每个条位于与所述轨迹之一相邻的磁偏转单元处的初级带电粒子束的轨迹(71)的节距相等的距离内。所述条被配置为建立基本上垂直于所述轨迹的磁场(B)。静电偏转单元(62)被配置为用于创建基本上垂直于磁场的静电场。磁偏转单元和静电偏转单元在平行于初级带电粒子束的轨迹的方向上间隔开。
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公开(公告)号：CN111886669B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN201980011182.3
申请日：2019-02-15
申请人： 代尔夫特工业大学 , 应用材料以色列有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 一种用于检查样本的多束带电粒子柱，包括用于朝向样本指引多个初级带电粒子束的源、用于检测来自样本的信号带电粒子的检测器，以及布置在检测器和样本之间的组合的磁偏转单元和静电偏转单元。磁偏转单元(61)包括磁性或铁磁性材料的多个条(63)。每个条位于与所述轨迹之一相邻的磁偏转单元处的初级带电粒子束的轨迹(71)的节距相等的距离内。所述条被配置为建立基本上垂直于所述轨迹的磁场(B)。静电偏转单元(62)被配置为用于创建基本上垂直于磁场的静电场。磁偏转单元和静电偏转单元在平行于初级带电粒子束的轨迹的方向上间隔开。
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公开(公告)号：CN101738398B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN200910266307.5
申请日：2003-03-14
申请人： 应用材料以色列有限公司
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
摘要： 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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公开(公告)号：CN100593113C
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN03809497.5
申请日：2003-03-14
申请人： 应用材料以色列有限公司
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
摘要： 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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公开(公告)号：CN1650160A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN03809497.5
申请日：2003-03-14
申请人： 应用材料以色列有限公司
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
摘要： 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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公开(公告)号：CN1646894A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03809048.1
申请日：2003-03-14
申请人： 应用材料以色列有限公司
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
摘要： 本发明提供一种用于样品如半导体晶片(108)的暗场检测的系统，该系统使用提供光束的激光光源(101)。该系统包括：提供光束的光源(101)；行移透镜声光器件(104)，它具有有源区和响应RF输入信号而在所述有源区中同时产生多个行移透镜，每个透镜具有焦点，所述行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束和在每个所产生的行移透镜的各个焦点处产生多个斑点束，所述多个斑点束扫描所述样品的第一表面，由此产生相应的反射光束和透射光束中的至少之一的多个光束；而反射光束和透射光束的至少之一包括明场和暗场成分；和用于收集和检测暗场成分的暗场光学装置。
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公开(公告)号：CN1646894B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN03809048.1
申请日：2003-03-14
申请人： 应用材料以色列有限公司
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
摘要： 本发明提供一种用于样品如半导体晶片(108)的暗场检测的系统，该系统使用提供光束的激光光源(101)。该系统包括：提供光束的光源(101)；行移透镜声光器件(104)，它具有有源区和响应RF输入信号而在所述有源区中同时产生多个行移透镜，每个透镜具有焦点，所述行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束和在每个所产生的行移透镜的各个焦点处产生多个斑点束，所述多个斑点束扫描所述样品的第一表面，由此产生相应的反射光束和透射光束中的至少之一的多个光束；而反射光束和透射光束的至少之一包括明场和暗场成分；和用于收集和检测暗场成分的暗场光学装置。
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公开(公告)号：CN101738398A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910266307.5
申请日：2003-03-14
申请人： 应用材料以色列有限公司
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
摘要： 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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