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公开(公告)号：CN102597313A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080048674.9
申请日：2010-10-12
Applicant: 伊斯曼柯达公司
IPC: C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/54
CPC classification number: C23C16/458 , C23C16/45551 , C23C16/545 , Y10T137/8593
Abstract: 一种用于薄膜材料沉积的流体输送系统，其包括流体分配歧管和基体传输机构。流体分配歧管包括输出面，该输出面包括多个细长槽。流体分配歧管的输出面被设置成与基体的第一表面相对，以便细长槽面向基体的第一表面并且被设置成靠近基体的第一表面。基体传输机构使得基体在一个方向上移动并且包括柔性机构，该柔性机构在靠近流体分配歧管的输出面的区域中接触基体的第二表面。
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