具有传感器的装置
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220556594U

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202320806201.5

    申请日:2023-04-12

    摘要: 本文提供了一种具有传感器的装置。该传感器包括:包含一个或多个二极管的基底;形成于所述基底的顶表面上的第一氧化物层;形成于所述传感器的顶表面上的锗层;形成于所述锗层的顶表面上的第一导电层;形成于所述第一导电层的顶表面上的第二氧化物层;形成于所述第二氧化物层的顶表面上的第二导电层,其中所述第二导电层、所述第二氧化物层和所述第一导电层包括一个或多个沟槽,并且其中所述一个或多个沟槽各自定位在所述一个或多个二极管中的至少一个二极管上方,在从所述传感器的底表面延伸至所述第二氧化物层的所述顶表面的垂直轴上。