-
公开(公告)号：CN113244836A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110095785.5
申请日：2021-01-25
Applicant: 住友精密工业株式会社
Inventor： 冈本岬
Abstract: 本发明提供一种能够使臭氧浓度快速地收敛于目标浓度的臭氧水制造装置。控制部(80)在从停止控制切换为供给控制之后，当臭氧浓度C经由比目标浓度Cset低的下降拐点而比第一阈值C1升高时，执行停止控制。第一阈值C1是基于目标浓度Cset和与下降拐点对应的臭氧浓度即最小值Cmin而求出的、最小值Cmin与目标浓度Cset之间的值。
Search Results
1
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
