公开(公告)号：CN102712472B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201080043675.4

申请日：2010-09-21

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬 ,  竹村理

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明公开了一种臭氧气体发生装置。该臭氧气体发生装置在一对电极(14、14)的各相向面侧分别设置有一个电介质(13)。在一对电介质(13、13)之间形成有放电间隙(20)，该放电间隙(20)与原料气体供给通路和臭氧气体排出通路连接。在一对电介质(13、13)上设置有面向放电间隙(20)的功能膜(17)。功能膜(17)中包含：选自铌、钽、钼、铬中的一种或两种以上金属的第一金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁中的一种或两种以上金属的第二金属氧化物。

公开(公告)号：CN102712472A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080043675.4

申请日：2010-09-21

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬 ,  竹村理

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明公开了一种臭氧气体发生装置。该臭氧气体发生装置在一对电极(14、14)的各相向面侧分别设置有一个电介质(13)。在一对电介质(13、13)之间形成有放电间隙(20)，该放电间隙(20)与原料气体供给通路和臭氧气体排出通路连接。在一对电介质(13、13)上设置有面向放电间隙(20)的功能膜(17)。功能膜(17)中包含：选自铌、钽、钼、铬中的一种或两种以上金属的第一金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁中的一种或两种以上金属的第二金属氧化物。