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公开(公告)号：CN1534689A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410031955.X
申请日：2004-03-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种微调载物台装置，即使在搭载负荷超过5kg时，也能够实现高停止稳定性和高响应性。微调载物台装置包括在基体(100)上构筑的倾斜载物台、X－Y载物台。倾斜载物台具有倾斜板(201)，并且在倾斜板和基体之间具备至少3个转换机构，该转换机构通过第一压电驱动器(Z1－1、Z2－2)和楔形段(215)的组合，将与基体平行的运动转换为与基体垂直的Z轴方向运动。X－Y载物台，具有与倾斜板组合的X－Y板(301)，并且，还包括：至少2个第二压电驱动器(302、303)，与X轴方向、Y轴方向的一方相互平行地延伸，至少以2点驱动上述X－Y板；以及第三压电驱动器(304)，在X轴方向、Y轴方向的另一方延伸，并驱动上述X－Y板。
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