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公开(公告)号：CN103291584B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201310059563.3
申请日：2013-02-25
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置，其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵（10）具备：1级板（20），其通过制冷机（16）的1级冷却台（22）冷却；2级板（18），其通过制冷机的2级冷却台（24）冷却；板温度传感器（94、96），其设置于1级板及2级板中的至少一方；冷却台温度传感器（90、92），其设置于1级冷却台及2级冷却台中的至少一方；及控制部（100），其控制基于冷却台温度传感器的测定温度的真空排气。控制部控制包含低温板的升温工序的再生，且专门在再生中使用板温度传感器的测定温度。控制部基于板温度传感器的测定温度来完成升温工序。
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公开(公告)号：CN102734124B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210108074.8
申请日：2012-04-13
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种有助于降低消耗电力的低温泵及使用这种低温泵的真空排气方法。低温泵(10)具备用于冷却低温板的制冷机、及可从离子注入装置(1)接收表示其运行模式的控制信号且用于根据该控制信号控制制冷机的CP控制器(100)。运行模式包括向目标照射射束的照射模式与从目标移开射束或使射束以弱于该照射模式的级别继续存在的空闲模式。CP控制器(100)控制制冷机，以便在照射模式及空闲模式下将低温板冷却成保持气体分子的冷却温度，所述控制器在空闲模式期间的至少一部分中容许将冷却温度设为高于照射模式的温度。
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公开(公告)号：CN103291584A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310059563.3
申请日：2013-02-25
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置，其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵（10）具备：1级板（20），其通过制冷机（16）的1级冷却台（22）冷却；2级板（18），其通过制冷机的2级冷却台（24）冷却；板温度传感器（94、96），其设置于1级板及2级板中的至少一方；冷却台温度传感器（90、92），其设置于1级冷却台及2级冷却台中的至少一方；及控制部（100），其控制基于冷却台温度传感器的测定温度的真空排气。控制部控制包含低温板的升温工序的再生，且专门在再生中使用板温度传感器的测定温度。控制部基于板温度传感器的测定温度来完成升温工序。
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公开(公告)号：CN102734124A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210108074.8
申请日：2012-04-13
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种有助于降低消耗电力的低温泵及使用这种低温泵的真空排气方法。低温泵(10)具备用于冷却低温板的制冷机、及可从离子注入装置(1)接收表示其运行模式的控制信号且用于根据该控制信号控制制冷机的CP控制器(100)。运行模式包括向目标照射射束的照射模式与从目标移开射束或使射束以弱于该照射模式的级别继续存在的空闲模式。CP控制器(100)控制制冷机，以便在照射模式及空闲模式下将低温板冷却成保持气体分子的冷却温度，所述控制器在空闲模式期间的至少一部分中容许将冷却温度设为高于照射模式的温度。
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公开(公告)号：CN102777347B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210147036.3
申请日：2012-05-11
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , Y10T29/49236
摘要： 本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及用于制造这种低温泵的方法。低温泵（10）具备：多个低温吸着板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸着板（50）中的至少1个的板前表面被区分成用于非冷凝性气体的吸附区域（76）和用于冷凝性气体的冷凝区域（82）。
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公开(公告)号：CN102777347A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210147036.3
申请日：2012-05-11
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , Y10T29/49236
摘要： 本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及用于制造这种低温泵的方法。低温泵（10）具备：多个低温吸着板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸着板（50）中的至少1个的板前表面被区分成用于非冷凝性气体的吸附区域（76）和用于冷凝性气体的冷凝区域（82）。
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公开(公告)号：CN102777345B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210145612.0
申请日：2012-05-11
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及其制造方法。低温泵（10）具备：多个低温吸附板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸附板（50）的至少1个包含向低温泵内部开放空间（30）突出并朝向放射护罩（16）的板末端，该板末端具有吸附剂脱落的区域（82）。
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公开(公告)号：CN102777345A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210145612.0
申请日：2012-05-11
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及其制造方法。低温泵（10）具备：多个低温吸附板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸附板（50）的至少1个包含向低温泵内部开放空间（30）突出并朝向放射护罩（16）的板末端，该板末端具有吸附剂脱落的区域（82）。
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