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公开(公告)号：CN101359184B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200810131151.5
申请日：2008-07-30
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 细畠拓也
IPC: G03F7/20 , H01L21/683 , H01L21/67 , G12B5/00
CPC classification number: H01L21/682 , G03F7/70766 , H01L21/68785 , Y10S248/913
Abstract: 一种反力处理装置，抑制反力处理装置的大型化。反力处理装置为，设置在载物台装置上，处理由于载物台的移动而对定盘产生的反力，该载物台装置具备：具有高度互不相同的多个盘面且隔着减振弹簧设置在基座上的定盘；和分别配设在盘面上并在该盘面上移动的载物台。并且，反力处理装置具备：对定盘施加平衡推力的第1和第2反力处理促动器；和控制推力大小的控制部。在该反力处理装置中，定盘上的平衡推力的作用点高度互不相同，控制部控制平衡推力以使反力作为合力和合力矩而抵消。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101344123B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200810135690.6
申请日：2008-07-09
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: F16C29/025 , F16C32/0618 , F16C32/0666 , F16C33/748 , F16C2380/18
Abstract: 一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。即使在为了在滑行面(2a)上浮起而从喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，空气被吹到进入在载物台(2)的表面上形成的微细的孔部的粒子(P)、或附着在载物台表面上的粒子(P)上的情况下，通过配置在喷出部(11)的外周侧的吸引面(12a)，将所吹的空气(A1)的一部分即空气(A2)与粒子(P)一起吸引回收。并且，将吸引面(12a)配置为比喷出面(11a)的下端后退，而容易使粒子(P)的吸引和空气的喷出平衡，由此，使静压轴承(10)在滑行面(2a)上浮起并非接触地滑行，并且可靠地捕捉向载物台装置(1)周边飞散的粒子(P)。
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公开(公告)号：CN101359184A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810131151.5
申请日：2008-07-30
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 细畠拓也
IPC: G03F7/20 , H01L21/683 , H01L21/67 , G12B5/00
CPC classification number: H01L21/682 , G03F7/70766 , H01L21/68785 , Y10S248/913
Abstract: 一种反力处理装置，抑制反力处理装置的大型化。反力处理装置为，设置在载物台装置上，处理由于载物台的移动而对定盘产生的反力，该载物台装置具备：具有高度互不相同的多个盘面且隔着减振弹簧设置在基座上的定盘；和分别配设在盘面上并在该盘面上移动的载物台。并且，反力处理装置具备：对定盘施加平衡推力的第1和第2反力处理促动器；和控制推力大小的控制部。在该反力处理装置中，定盘上的平衡推力的作用点高度互不相同，控制部控制平衡推力以使反力作为合力和合力矩而抵消。
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公开(公告)号：CN101359183A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810129497.1
申请日：2008-07-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/683 , H01L21/67 , G12B5/00
CPC classification number: H01L21/682 , G03F7/70766 , G03F7/70825 , G03F7/709
Abstract: 一种反力处理装置，能够在提高移动载物台装置的载物台稳定性的同时，抑制移动载物台装置的大型化。该反力处理装置处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的载物台在经由除振弹簧设置于底板上的定盘上移动。并具有反力处理促动器，用于将降低反力的力即反推力施加到定盘上。而且，该反力处理促动器以被定盘覆盖的方式设置在相比该定盘的上表面偏下方的位置。
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公开(公告)号：CN101359183B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200810129497.1
申请日：2008-07-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/683 , H01L21/67 , G12B5/00
CPC classification number: H01L21/682 , G03F7/70766 , G03F7/70825 , G03F7/709
Abstract: 一种反力处理装置，能够在提高移动载物台装置的载物台稳定性的同时，抑制移动载物台装置的大型化。该反力处理装置处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的载物台在经由除振弹簧设置于底板上的定盘上移动。并具有反力处理促动器，用于将降低反力的力即反推力施加到定盘上。而且，该反力处理促动器以被定盘覆盖的方式设置在相比该定盘的上表面偏下方的位置。
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公开(公告)号：CN101344123A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810135690.6
申请日：2008-07-09
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: F16C29/025 , F16C32/0618 , F16C32/0666 , F16C33/748 , F16C2380/18
Abstract: 一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。即使在为了在滑行面(2a)上浮起而从喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，空气被吹到进入在载物台(2)的表面上形成的微细的孔部的粒子(P)、或附着在载物台表面上的粒子(P)上的情况下，通过配置在喷出部(11)的外周侧的吸引面(12a)，将所吹的空气(A1)的一部分即空气(A2)与粒子(P)一起吸引回收。并且，将吸引面(12a)配置为比喷出面(11a)的下端后退，而容易使粒子(P)的吸引和空气的喷出平衡，由此，使静压轴承(10)在滑行面(2a)上浮起并非接触地滑行，并且可靠地捕捉向载物台装置(1)周边飞散的粒子(P)。
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