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公开(公告)号:CN102667400A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080058029.5
申请日:2010-08-03
Applicant: 住友金属工业株式会社
CPC classification number: B21B38/02 , B21C51/00 , G01B11/2513 , G01B11/303 , G01B11/306 , G01N21/8806 , G01N21/89
Abstract: 提供一种当在能够接收投影在正反射性强的板材的表面上的明暗图案的正反射光的位置处配置摄像单元的情况下也能够高精度地测量板材的表面形状/平坦度的方法。本发明所涉及的方法使用亮部在纵方向以及横方向上分别以规定的设定间距配置为交错状而得到的交错状图案作为投影在板材的表面上的明暗图案。对由摄像单元获取的图案图像设定沿着交错状图案的纵方向延伸的形状测量线,将经过形状测量线上的像素而在交错状图案的横方向上延伸且长度为亮部的横方向设定间距的两倍以上的直线上的像素浓度进行平均化,来计算平均像素浓度。根据沿着形状测量线的平均像素浓度分布来计算出板材的表面形状,根据计算出的该表面形状来运算板材的平坦度。