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公开(公告)号:CN105917170A
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201480073474.7
申请日:2014-12-22
申请人: 佐勒技术公司
发明人: 伯纳德·P·马斯特森 , 迈克尔·约翰·埃斯蒂斯 , 安德鲁·D·萨佩
IPC分类号: F23N5/08
摘要: 一种监测被附接至工艺室的壁的观察管的堵塞的方法,该观察管在操作上与TDLAS光学头相关联,在观察管与TDLAS光学头之间具有窗口。该方法包括以下步骤:在TDLAS光学头中提供光电传感器,该光电传感器被定位成接收通过工艺室内的光发射过程所发射的光。监测发射信号,该发射信号通过工艺室内的光发射过程所发射的光来产生,该发射信号由光电传感器来接收。确定该发射信号是否正在劣化。