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发明公开
合成石英玻璃基板用的抛光剂及该抛光剂的制备方法、以及合成石英玻璃基板的抛光方法无效

公开(公告)号：CN115605554A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202180035593.3

申请日：2021-03-12

申请人： 信越化学工业株式会社(JP)

发明人： 高桥光人

IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , B24B37/04 , C01F17/241

摘要： 本发明为一种合成石英玻璃基板用的抛光剂，其是至少含有抛光颗粒及水的合成石英玻璃基板用的抛光剂，所述抛光颗粒含有铈与钇的复合氧化物颗粒及铈与钇的复合无定形颗粒，所述铈与钇的复合氧化物颗粒的平均一次粒径为30nm以上且80nm以下，并且所述铈与钇的复合无定形颗粒的平均一次粒径为100nm以上且300nm以下。由此，可提供一种具有高抛光速度、同时能够充分减少因抛光导致的缺陷的产生的合成石英玻璃基板用的抛光剂。