一种AlB12纳米/亚微米球形材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN101812672B

    公开(公告)日:2011-06-01

    申请号:CN201010125170.4

    申请日:2010-03-16

    IPC分类号: C23C16/38 C23C16/455

    摘要: 本发明公开了一种AlB12纳米/亚微米球形材料的制备方法。该方法首先将放有铝源的石英舟和单晶硅片衬底(衬底纯净,放在靠近石英舟的下气流方向)放入管式电炉的石英管中部,密封石英管(合成AlB12纳米/亚微米球形材料的实验装置,如图(1)所示),同时对石英管预抽真空,然后通入保护和还原气体,再将电炉加热到800-900℃,然后通入硼源,同时调节保护和还原性气体,保持15-60分钟;反应完全后,系统在保护气体和还原性气体的混合气气氛下降温,直至冷却至室温;冷却后,取出Si基片(蒸发位),衬底上黑色的一层物质即为所制备的样品。铝源为金属铝粉末,硼源为BCl3;还原性气体为H2气,保护气体为Ar气。本发明首次制备出AlB12纳米/亚微米球形材料,试验过程简单,易于操作,便于推广应用。

    一种AlB12纳米/亚微米球形材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN101812672A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN201010125170.4

    申请日:2010-03-16

    IPC分类号: C23C16/38 C23C16/455

    摘要: 本发明公开了一种AlB12纳米/亚微米球形材料的制备方法。该方法首先将放有铝源的石英舟和单晶硅片衬底(衬底纯净,放在靠近石英舟的下气流方向)放入管式电炉的石英管中部,密封石英管(合成AlB12纳米/亚微米球形材料的实验装置,如图(1)所示),同时对石英管预抽真空,然后通入保护和还原气体,再将电炉加热到800-900℃,然后通入硼源,同时调节保护和还原性气体,保持15-60分钟;反应完全后,系统在保护气体和还原性气体的混合气气氛下降温,直至冷却至室温;冷却后,取出Si基片(蒸发位),衬底上黑色的一层物质即为所制备的样品。铝源为金属铝粉末,硼源为BCl3;还原性气体为H2气,保护气体为Ar气。本发明首次制备出AlB12纳米/亚微米球形材料,试验过程简单,易于操作,便于推广应用。