镜片的镀膜方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105483618B

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201510908764.5

    申请日:2015-12-09

    发明人: 李龙 王顺超

    IPC分类号: C23C14/24 C23C28/04

    摘要: 本发明公开了一种镜片的镀膜方法,其包括:根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构,镜片的折射率在1.49~2.0之间,镀膜膜系结构为(X+Y)^n+Z,其中,n=3或4,X表示氧化物或氟化物,Y表示含钛化合物,Z表示氟化物或氧化物;根据镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时镜片的工件盘的蒸发角度,凹面的曲率半径小于5,蒸发角度范围为65°~75°;根据镀膜膜系结构及蒸发角度对镜片进行镀膜。上述镜片的镀膜方法,通过根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构,及根据镜片的凹面的曲率半径设定工件盘的蒸发角度,使得镜片边缘的镀膜效果与镜片中心的镀膜效果相同或差异较小,同时也保证了镜片的凹面边缘膜层的分光。

    镜片的镀膜方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105483618A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201510908764.5

    申请日:2015-12-09

    发明人: 李龙 王顺超

    IPC分类号: C23C14/24 C23C28/04

    CPC分类号: C23C14/24 C23C28/04 C23C28/42

    摘要: 本发明公开了一种镜片的镀膜方法,其包括:根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构,镜片的折射率在1.49~2.0之间,镀膜膜系结构为(X+Y)^n+Z,其中,n=3或4,X表示氧化物或氟化物,Y表示含钛化合物,Z表示氟化物或氧化物;根据镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时镜片的工件盘的蒸发角度,凹面的曲率半径小于5,蒸发角度范围为65°~75°;根据镀膜膜系结构及蒸发角度对镜片进行镀膜。上述镜片的镀膜方法,通过根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构,及根据镜片的凹面的曲率半径设定工件盘的蒸发角度,使得镜片边缘的镀膜效果与镜片中心的镀膜效果相同或差异较小,同时也保证了镜片的凹面边缘膜层的分光。