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公开(公告)号：CN118080287A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311722019.2
申请日：2023-12-14
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于靶材涂布技术领域，公开了一种旋转靶材涂布方法。包括以下步骤：清洗旋转靶材；使用清洁剂将旋转靶材的表面擦拭干净；根据内控标准对旋转靶材外观、尺寸进行检测，判断是否合格；旋转靶材检测合格后，使用旋转靶材涂布夹具进行装夹；进行预热，使用超声波方式进行涂布；旋转靶材涂布夹具包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋转靶材的容纳空间。本发明流程简单、操作简便，配合旋转靶材涂布夹具，能有效地减少旋转靶材在涂布工序的不良率，减少因靶材不良产生的成本消耗。
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公开(公告)号：CN114770387B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202210245390.3
申请日：2022-03-13
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种平面靶材侧边打磨方法，旨在可以连续完成侧边打磨和倒角加工，无需更换砂轮和重新对刀，提高平面靶材的加工效率，其技术方案：一种平面靶材侧边打磨方法，涉及一种砂轮，所述本体沿其旋转轴在其外壁上依次设有圆柱段、圆弧过渡段和第一环形坡面段，所述圆弧过渡段为喇叭状；还包括以下步骤：步骤1：固定平面靶材，使砂轮的旋转轴垂直于平面靶材的平面，让砂轮的圆柱段对平面靶材的侧边进行打磨；步骤2：沿砂轮的旋转轴的长度方向移动砂轮，让砂轮的圆弧过渡段对平面靶材的侧边进行倒圆角加工，或让砂轮的第一环形坡面段对平面靶材的侧边进行斜边打磨，属于靶材加工技术领域。
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公开(公告)号：CN114536206A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210211199.7
申请日：2022-03-03
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种旋转靶材表面研磨方法，旨在采用纵向研磨的方式粗加工旋转靶材的表面，再配合横向走刀来精加工旋转靶材的表面，提高研磨效率，其技术方案：一种旋转靶材表面研磨方法，包括以下步骤：步骤1：固定旋转靶材，使旋转靶材绕其轴线旋转；步骤2：调整砂轮，使砂轮的轴线与旋转靶材的轴线相平行且砂轮的母线与旋转靶材的轴线之间的间距大于旋转靶材的最大半径；使砂轮位于旋转靶材的一端且不与旋转靶材重合；步骤3：沿旋转靶材的轴向移动砂轮，使砂轮逐渐靠近旋转靶材的另一端，所述砂轮的移动距离小于砂轮的宽度；步骤4：沿旋转靶材的径向移动砂轮，使砂轮逐渐靠近旋转靶材去磨削旋转靶材的表面；属于靶材加工技术领域。
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公开(公告)号：CN115055738A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210819201.9
申请日：2022-07-12
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种加工圆形靶材用的刀具，包括刀具主体；刀具主体的下段为切割段，刀具主体开设有从切割段的底面向上凹陷的筒状的成型槽；成型槽的槽口用于盖设在外部靶材的表面内；切割段用于通过与外部靶材摩擦以在外部靶材上摩擦切割出横截面形状与成型槽相适配的圆形靶材。本发明的加工圆形靶材用的刀具能提高加工出圆形靶材的效率。本发明还公开了一种加工圆形靶材用的加工设备和方法。
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公开(公告)号：CN113732835A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202111116516.9
申请日：2021-09-23
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
IPC分类号： B24B5/04 , B24B5/40 , B24B5/50 , B24B5/35 , B24B41/06 , B24B37/02 , B24B37/27 , B24B37/34 , B24B1/00 , C23C14/34
摘要： 本发明涉及靶材加工技术领域，公开了一种溅射靶材研磨装置及加工方法，所述溅射靶材研磨装置包括机架和研磨用砂轮，所述机架的一端可移动地设有尾顶，所述机架的另一端对应所述尾顶可转动地设有工作头，所述工作头上设有工装夹具，所述工装夹具内可拆卸地插接有靶材套筒，所述砂轮可移动地设置在所述工装夹具与所述尾顶之间。采用本发明溅射靶材研磨装置及加工方法，研磨靶材内径时在工装夹具上安装靶材套筒，然后将靶材坯料固定在靶材套筒内进行内表面的研磨，避免了其在研磨过程中的圆跳动，不仅方便对内表面进行研磨，而且研磨外表面时也不用多次研磨，从而提高了对长管形溅射靶材的研磨精度及研磨速率，提高了产品合格率，降低了成本。
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公开(公告)号：CN115139181A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210792330.3
申请日：2022-07-05
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种陶瓷靶材加工方法，包括切割步骤：采用旋转的切割砂轮与陶瓷靶材接触并发生相对运动而切割陶瓷靶材，切割砂轮切割时还摩擦陶瓷靶材的切割面而去除切割形成的毛刺。本发明的陶瓷靶材加工方法通过采用旋转的切割砂轮进行切割，切割砂轮切割时还能摩擦陶瓷靶材的切割面而将毛刺去除，如此，相对现有可省去后续采用CNC机加工去除毛刺的步骤，简化操作，同时，可省去购买CNC机，节省成本。本发明还公开了一种陶瓷靶材加工设备。
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公开(公告)号：CN114770387A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210245390.3
申请日：2022-03-13
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种平面靶材侧边打磨方法，旨在可以连续完成侧边打磨和倒角加工，无需更换砂轮和重新对刀，提高平面靶材的加工效率，其技术方案：一种平面靶材侧边打磨方法，涉及一种砂轮，所述本体沿其旋转轴在其外壁上依次设有圆柱段、圆弧过渡段和第一环形坡面段，所述圆弧过渡段为喇叭状；还包括以下步骤：步骤1：固定平面靶材，使砂轮的旋转轴垂直于平面靶材的平面，让砂轮的圆柱段对平面靶材的侧边进行打磨；步骤2：沿砂轮的旋转轴的长度方向移动砂轮，让砂轮的圆弧过渡段对平面靶材的侧边进行倒圆角加工，或让砂轮的第一环形坡面段对平面靶材的侧边进行斜边打磨，属于靶材加工技术领域。
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公开(公告)号：CN113635214A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110841648.1
申请日：2021-07-26
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及靶材加工技术领域，公开了一种溅射靶材研磨装置及加工方法，所述溅射靶材研磨装置包括机架、砂轮、第一驱动机构和第二驱动机构，所述机架的一端可移动地设有尾座，所述机架的另一端对应所述尾座设有工作夹头，所述工作夹头上设有夹具，所述尾座及所述夹具同轴设置，溅射靶材设于所述夹具与所述尾座之间，所述砂轮对应溅射靶材设置在所述夹具与所述尾座之间，并通过所述第一驱动机构驱动其移动，所述第二驱动机构用于驱动溅射靶材旋转铝铜靶材。采用本发明溅射靶材研磨装置就加工方法，通过设置夹具夹持溅射靶材，保证了溅射靶材的研磨稳定性，提高了对长管形溅射靶材的研磨精度及研磨速率，提高了产品合格率，降低了成本。
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公开(公告)号：CN221090939U
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202323108914.3
申请日：2023-11-17
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本实用新型涉及靶材技术领域，公开了一种靶材存放及运输装置，包括车架，所述车架的底端设有减震万向轮，所述车架上沿其高度方向上均布有至少两个支撑架，所述支撑架上设有弹性存放件，所述存放件上设有多个用于放置靶材的容置槽。本实用新型在存放或运输时，不仅避免了靶材之间的叠放导致产生裂纹，提高后续的加工效率，而且由于支撑架为至少两个，每个存放件上有多个容置槽，从而保证了每个装置上一次的存放或运输量，从而保证了运输效率。另外，由于车架底部设置减震万向轮，其具有减震效果，同时存放件具有弹性，其进一步保证了减震效果，避免了运输工程中靶材出现崩角的现象，从而避免了靶材报废或降级使用，降低了成本。
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公开(公告)号：CN217097231U
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202220562726.4
申请日：2022-03-13
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
IPC分类号： B24B41/047
摘要： 本实用新型公开了一种用于加工平面靶材的砂轮，旨在可以完成侧边打磨、斜边打磨和倒圆角多种工序，提高加工平面靶材时的效率，其技术方案：一种用于加工平面靶材的砂轮，包括本体，所述本体包括基体、电镀在基体的表面的一层金刚石磨削层，所述本体为旋转体，所述本体沿其旋转轴在其外壁上依次设有用于侧边打磨的圆柱段、用于倒圆角的圆弧过渡段和用于斜边打磨的第一环形坡面段，所述圆弧过渡段为喇叭状，所述圆弧过渡段的较大端与圆柱段连接，所述圆弧过渡段的较小端与第一环形坡面段连接，属于靶材加工技术领域。
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