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发明授权
静电远程等离子体源有权

公开(公告)号：CN107396526B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN201710831581.7

申请日：2012-01-24

申请人： 先进工程解决方案全球控股私人有限公司

发明人： D·J·霍夫曼 , D·卡特 , V·布劳克 , K·彼德森 , R·戈瑞理

IPC分类号： H05H1/46 , H05H1/03

摘要： 本发明涉及一种静电远程等离子体源。本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。