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公开(公告)号：CN113960198A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111209924.9
申请日：2021-10-18
申请人： 全椒南大光电材料有限公司 , 苏州南大光电材料有限公司 , 江苏南大光电材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了基于气相色谱‑质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法，具体步骤如下：在全谱扫描模式下对含杂质气体的标准样品进行测定，确定各杂质气体的特征定量及定性离子峰，建立各杂质气体的质谱库；根据各杂质气体的特征定量及定性离子峰，在SIM模式下测定含杂质气体的标准样品，根据各杂质气体的峰面积确定含量，本发明适用于气相色谱‑质谱联用，通过利用色谱分离方法和质谱检测器串联，完成进样后的自动检测分析，能够在质量数1‑500amu范围内对杂质气体进行全谱扫描，并可同时利用杂质气体特征离子峰在SIM模式条件下完成高精度扫描，该分析检测方法可应用于高纯磷烷、高纯砷烷及其它高纯气体中杂质的分析检测，具有通用性和普适性。
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公开(公告)号：CN117871436B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202311633705.2
申请日：2023-12-01
申请人： 江苏南大光电材料股份有限公司 , 全椒南大光电材料有限公司
摘要： 本发明适用于高纯特气痕量水分仪验证领域，提供了一种用于高纯特气痕量水分仪验证的渗透管分析装置及方法，其中一种用于高纯特气痕量水分仪验证的渗透管分析装置，包括验证管路、水分测试装置以及尾气控制处理装置，所述验证管路、水分测试装置以及尾气控制处理装置依次连接，所述验证管路包括一号管道、纯化管、渗透管以及二号管道，所述一号管道、纯化管以及渗透管均设置有气体流量控制器，所述验证管路连通有样品接入管。本发明公开了一种用于高纯特气痕量水分仪验证的渗透管分析装置的测试方法可用于高纯磷烷、砷烷等电子特气光腔衰荡水分仪仪器评估。
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公开(公告)号：CN117890492B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311679446.7
申请日：2023-12-08
申请人： 江苏南大光电材料股份有限公司 , 全椒南大光电材料有限公司
摘要： 本发明适用于高纯磷烷杂质分析技术领域，提供了一种色谱傅里叶红外联用分析系统及方法，其中一种色谱傅里叶红外联用分析系统，包括：色谱柱、阀切换装置、红外光谱检测装置以及控压装置；所述控压装置与红外光谱检测装置连通，所述控压装置用于控制红外光谱检测装置测试过程中的气压。本发明提供的一种色谱傅里叶红外联用分析系统，在限流机构中，通过孔盘与孔板的配合从而对通过的气体进行流量控制，避免截止阀失效，气压突然增加造成红外光谱检测装置检测误差。
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公开(公告)号：CN113984687A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111208306.2
申请日：2021-10-18
申请人： 江苏南大光电材料股份有限公司 , 全椒南大光电材料有限公司 , 苏州南大光电材料有限公司
摘要： 本发明属于气体分析检测领域，尤其是一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置及其分析方法，针对现有的光谱分析检测装置在连续使用时，容易因装置内还残留有杂质，导致分析检测的机构不够准确，且光谱分析检测装置上的进气管在不使用时如不进行收纳则容易受到损毁的问题，现提出如下方案，其包括主壳体，所述主壳体的正面设置有显示屏，主壳体内设置有光谱分析仪主体，主壳体内开设有第一空腔和第二空腔，本发明中的进气管可以便捷的进行伸缩收纳，有效的达到对进气管进行防护的目的，且在进气管伸出的过程中可以将装置内的残留气体杂质等排出提升分析检测的准确性，且可以有效的避免高纯磷烷的浪费。
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公开(公告)号：CN109030651B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN201810902464.X
申请日：2018-08-09
申请人： 全椒南大光电材料有限公司
IPC分类号： G01N30/02
摘要： 本发明提供基于中心切割的双柱分离检测系统及检测方法，包括第一放空柱、第二放空柱、第一分离柱和第二分离柱；十通阀的2个端口分别为样品进口和样品出口、2个端口为载气入口、1个端口与第一放空柱连接、1个端口与第二放空柱连接、第一四通阀的1个端口与第一放空柱连接、1个端口与第一分离柱连接、第二四通阀的1个端口与第二放空柱连接、1个端口与第二分离柱连接、1个端口为第四载气入口；六通阀的1个端口与检测器连接、1个端口与第二分离柱连接、1个端口与第一分离柱连接。通过阀切割和前级色谱柱达到主组分的放空，残余主峰携带杂质通过后级色谱柱进一步分离检测，明显改善传统单级色谱柱检测限问题，最大程度优化脉冲氦离子化检测器性能。
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公开(公告)号：CN109030651A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810902464.X
申请日：2018-08-09
申请人： 全椒南大光电材料有限公司
IPC分类号： G01N30/02
CPC分类号： G01N30/02
摘要： 本发明提供基于中心切割的双柱分离检测系统及检测方法，包括第一放空柱、第二放空柱、第一分离柱和第二分离柱；十通阀的2个端口分别为样品进口和样品出口、2个端口为载气入口、1个端口与第一放空柱连接、1个端口与第二放空柱连接、第一四通阀的1个端口与第一放空柱连接、1个端口与第一分离柱连接、第二四通阀的1个端口与第二放空柱连接、1个端口与第二分离柱连接、1个端口为第四载气入口；六通阀的1个端口与检测器连接、1个端口与第二分离柱连接、1个端口与第一分离柱连接。通过阀切割和前级色谱柱达到主组分的放空，残余主峰携带杂质通过后级色谱柱进一步分离检测，明显改善传统单级色谱柱检测限问题，最大程度优化脉冲氦离子化检测器性能。
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公开(公告)号：CN114705798A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210187167.8
申请日：2022-02-28
申请人： 江苏南大光电材料股份有限公司 , 全椒南大光电材料有限公司 , 苏州南大光电材料有限公司
摘要： 本发明属于高纯磷烷中杂质的分析检测领域，尤其是一种GC‑AED关于高纯磷烷ppb含量锗烷杂质分析检测技术及方法，包括以下步骤：S1、通过进样系统向气相色谱原子发射光谱检测仪器通入需要检测的高纯磷烷；S2、利用等离子体作激发光源，使进入气相色谱原子发射光谱检测仪器的高纯磷烷原子化；S3、然后原子被激发至激发态，再跃迁至基态，发射出原子光谱，本发明针对磷烷等剧毒气体中锗烷杂质及其它含碳类杂质均可进行分析检测，且针对锗烷杂质，检出限低至0.2ppb，同时，该检测系统对于高纯砷烷、高纯氦气及其它高纯电子气体亦可做到ppb级别杂质的准确检测。
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公开(公告)号：CN113970467A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202111211492.5
申请日：2021-10-18
申请人： 苏州南大光电材料有限公司 , 江苏南大光电材料股份有限公司 , 全椒南大光电材料有限公司
摘要： 本发明公开一种磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统及其取样方法，通过该取样装置，对于磷烷砷烷等剧毒气体中金属离子，可以做到安全取样，该装置由氮气置换吹扫装置、调压装置、流量控制装置、针阀、三级串联的吸收装置、及带颜色指示功能的尾气处理装置组成，整套装置在生物洁净柜内运行，最大程度避免通风橱内外界环境干扰，同时因砷烷磷烷剧毒、易燃易爆，EP级别洁净面板、超高纯氮气及真空装置是标准配置，同时针对该装置进行压力流量等安全性测试，首次实现磷烷砷烷等剧毒气体金属离子安全取样操作。
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公开(公告)号：CN103638890B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310580359.6
申请日：2013-11-19
申请人： 全椒南大光电材料有限公司
摘要： 本发明涉及高纯安全气体源的制备方法，在充满惰性气体环境中，将金属或金属前驱体加入装有吸附剂的钢瓶之中，在惰性气体环境或真空环境下，使金属成分均匀分布在吸附剂中并将其活化为对于气体杂质具有化学活性的物质，真空脱气后将高纯气体充装于钢瓶内。工艺简单平稳，易于控制，纯化效率高，由于金属载体采用的是吸附剂本身，制备过程非常安全简洁，可利用安全生产源已有设备，成本优势明显，特别适合大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN117890492A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311679446.7
申请日：2023-12-08
申请人： 江苏南大光电材料股份有限公司 , 全椒南大光电材料有限公司
摘要： 本发明适用于高纯磷烷杂质分析技术领域，提供了一种色谱傅里叶红外联用分析系统及方法，其中一种色谱傅里叶红外联用分析系统，包括：色谱柱、阀切换装置、红外光谱检测装置以及控压装置；所述控压装置与红外光谱检测装置连通，所述控压装置用于控制红外光谱检测装置测试过程中的气压。本发明提供的一种色谱傅里叶红外联用分析系统，在限流机构中，通过孔盘与孔板的配合从而对通过的气体进行流量控制，避免截止阀失效，气压突然增加造成红外光谱检测装置检测误差。
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