具有精确粉末计量功能的汽化装置

    公开(公告)号:CN101939463B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200880126415.6

    申请日:2008-12-22

    CPC分类号: C23C14/246 C23C16/4486

    摘要: 本发明涉及一种包含计量装置的微粒材料汽化用装置,所述计量装置包含:储料器(130a);外壳(140),所述外壳具有内体积(150)和分别用于接收和排出微粒材料的第一和第二开口(160);设置在内体积中的可旋转轴(170),所述轴具有光滑表面和用于接收来自储料器的微粒材料和用于排放微粒材料的圆周形槽;可旋转轴与内体积配合而使得微粒材料通过圆周形槽输送并且不沿可旋转轴的其余部分输送;关联于第二开口(160)而设置的刮板,所述刮板在端部具有与转轴中的槽基本相同的截面,所述刮板与槽配合以除去其中残留的微粒材料,并且响应于轴旋转而通过第二开口(160)将计定量的微粒材料传递至闪蒸器(120a)中。

    具有精确粉末计量功能的汽化装置

    公开(公告)号:CN101939463A

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN200880126415.6

    申请日:2008-12-22

    CPC分类号: C23C14/246 C23C16/4486

    摘要: 本发明涉及一种包含计量装置的微粒材料汽化用装置,所述计量装置包含:储料器(130a);外壳(140),所述外壳具有内体积(150)和分别用于接收和排出微粒材料的第一和第二开口(160);设置在内体积中的可旋转轴(170),所述轴具有光滑表面和用于接收来自储料器的微粒材料和用于排放微粒材料的圆周形槽;可旋转轴与内体积配合而使得微粒材料通过圆周形槽输送并且不沿可旋转轴的其余部分输送;关联于第二开口(160)而设置的刮板,所述刮板在端部具有与转轴中的槽基本相同的截面,所述刮板与槽配合以除去其中残留的微粒材料,并且响应于轴旋转而通过第二开口(160)将计定量的微粒材料传递至闪蒸器(120a)中。