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公开(公告)号:CN113948588B
公开(公告)日:2024-12-24
申请号:CN202111391159.7
申请日:2021-11-23
Applicant: 兰州大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/0693 , H01L31/18 , H02S10/30
Abstract: 本发明涉及一种IBC结构锑化镓热光伏电池的制备方法,属于热光伏电池技术领域。本发明的制备方法包括以下步骤:S1、将P型GaSb晶片清洗干燥;S2、在P型GaSb晶片正面进行纹理刻蚀,并制备Si3N4或Ta2O5减反膜;S3、在P型GaSb晶片的背面抛光后制备SiO2或TiO2钝化层,然后定义出N+型区域,去除钝化层,通过热扩散硒形成N+型扩散层;S4、在P型GaSb晶片的背面补充沉积钝化层,然后定义出P+型区域,去除钝化层,通过热扩散锌形成P+型扩散层;S5、再次在P型GaSb晶片的背部补充沉积钝化层,然后定义出负电极区域和正电极区域,去除钝化层,制备负电极和正电极。本发明将IBC结构与GaSb热光伏电池结合,制备过程可靠有效,显著提高了GaSb热光伏电池的内外量子效率和输出功率密度。
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公开(公告)号:CN113948588A
公开(公告)日:2022-01-18
申请号:CN202111391159.7
申请日:2021-11-23
Applicant: 兰州大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/0693 , H01L31/18 , H02S10/30
Abstract: 本发明涉及一种IBC结构锑化镓热光伏电池的制备方法,属于热光伏电池技术领域。本发明的制备方法包括以下步骤:S1、将P型GaSb晶片清洗干燥;S2、在P型GaSb晶片正面进行纹理刻蚀,并制备Si3N4或Ta2O5减反膜;S3、在P型GaSb晶片的背面抛光后制备SiO2或TiO2钝化层,然后定义出N+型区域,去除钝化层,通过热扩散硒形成N+型扩散层;S4、在P型GaSb晶片的背面补充沉积钝化层,然后定义出P+型区域,去除钝化层,通过热扩散锌形成P+型扩散层;S5、再次在P型GaSb晶片的背部补充沉积钝化层,然后定义出负电极区域和正电极区域,去除钝化层,制备负电极和正电极。本发明将IBC结构与GaSb热光伏电池结合,制备过程可靠有效,显著提高了GaSb热光伏电池的内外量子效率和输出功率密度。
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公开(公告)号:CN216120312U
公开(公告)日:2022-03-22
申请号:CN202122874528.X
申请日:2021-11-23
Applicant: 兰州大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/0693 , H01L31/18 , H02S10/30
Abstract: 本实用新型涉及一种IBC结构锑化镓热光伏电池,属于热光伏电池技术领域,所述IBC结构锑化镓热光伏电池包括P型GaSb衬底和与P型GaSb衬底的背面接触的正负电极,所述P型GaSb衬底正面具有绒面结构且覆盖有Si3N4减反膜,所述P型GaSb衬底的背部通过热扩散形成有P+型扩散层和N+型扩散层。本实用新型将IBC结构与GaSb热光伏电池结合,并通过优化电池的结构显著提高了GaSb热光伏电池的内外量子效率和输出功率密度。
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