一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件

    公开(公告)号:CN111559734B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202010431407.5

    申请日:2020-05-20

    IPC分类号: B81B3/00 B81C1/00

    摘要: 本申请提供一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件,包括选用高浓度掺杂的硅晶圆作为基底制作硅基层;在所述硅基层的上表面设置绝缘层;在所述绝缘层的上表面沉积非晶硅制备牺牲层并定义CMUT单元;所述牺牲层包括圆形主体和与所述圆形主体连接的多个释放通道;在所述CMUT单元上沉积振动薄膜;在各个所述释放通道的开孔位置开设腐蚀孔,对牺牲层进行释放,形成空腔;在所述牺牲层释放完毕后密封所述腐蚀孔;利用光刻蚀工艺围绕所述圆形主体形成的空腔刻蚀预设宽度的支撑壁;深腐蚀操作至硅基层,以便沉积底电极;沉积电极及器件之间的连接导线,同时在所述振动薄膜的上表面沉积顶电极。

    一种透光微机电超声换能器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117000571A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311139615.8

    申请日:2023-09-05

    IPC分类号: B06B1/02

    摘要: 本发明公开了一种透光微机电超声换能器及其制备方法,涉及超声换能器领域,方法主要包括在透光基底上沉积公共底电极;在公共底电极上旋涂光敏聚合物并曝光显影,形成具有空腔结构和支撑结构的光敏聚合物透光基底晶圆;使用键合机,利用晶圆黏附层键合技术,将光敏聚合物透光基底晶圆与正反面均沉积有低应力氮化硅薄膜的硅晶圆键合固化,得到键合固化晶圆;使用干湿刻蚀方法去除位于键合固化晶圆外表面的低应力氮化硅薄膜及硅晶圆,保留位于键合固化晶圆内部的低应力氮化硅薄膜,并在保留的薄膜上沉积公共顶电极和金属层,以使得到的金属导线贯穿公共顶电极。本发明具有可透光、不会阻挡光路的优点,同时具备较大的相对带宽。

    一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件

    公开(公告)号:CN111559734A

    公开(公告)日:2020-08-21

    申请号:CN202010431407.5

    申请日:2020-05-20

    IPC分类号: B81B3/00 B81C1/00

    摘要: 本申请提供一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件,包括选用高浓度掺杂的硅晶圆作为基底制作硅基层;在所述硅基层的上表面设置绝缘层;在所述绝缘层的上表面沉积非晶硅制备牺牲层并定义CMUT单元;所述牺牲层包括圆形主体和与所述圆形主体连接的多个释放通道;在所述CMUT单元上沉积振动薄膜;在各个所述释放通道的开孔位置开设腐蚀孔,对牺牲层进行释放,形成空腔;在所述牺牲层释放完毕后密封所述腐蚀孔;利用光刻蚀工艺围绕所述圆形主体形成的空腔刻蚀预设宽度的支撑壁;深腐蚀操作至硅基层,以便沉积底电极;沉积电极及器件之间的连接导线,同时在所述振动薄膜的上表面沉积顶电极。

    一种脉冲-回波法超声检测及包络提取电路

    公开(公告)号:CN218546998U

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202222948428.1

    申请日:2022-11-04

    摘要: 本实用新型公开一种脉冲‑回波法超声检测及包络提取电路,应用于超声换能器回波检测领域,针对现有的检测设备成本高、体积大的问题,本实用新型采用集成电路芯片进行设计,具体采用芯片NE555P产生重复脉冲控制信号,采用芯片MAX4429放大驱动电流,驱动功率MOSFET管及相关电路实现重复负极性高压发射脉冲输出,采用芯片AD604实现超声回波信号低噪声放大与增益调节,采用芯片AD8045实现超声回波的噪声滤除,采用芯片AD8039实现超声回波信号的包络提取,采用集成电路芯片LM1117‑5V实现+5V电压输出,LM1117‑2.5V实现+2.5V电压输出,MAX861实现‑5V电压输出。

    一种提升信号动态范围的磁共振接收方法

    公开(公告)号:CN113671430B

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202110886221.3

    申请日:2021-08-03

    摘要: 本发明公开一种提升信号动态范围的磁共振接收方法,应用于电子信息技术领域,针对现有技术存在的信号失真以及动态范围不理想的问题,本发明通过传统接收装置内部集成的自动增益控制的功能,简化了软件控制流程;并在接收装置数字域对ADC输出的数字信号进行增益补偿,相位补偿以及直流偏直补偿;实现了对幅值较小的信号进行更大的接收增益,对幅值较大的信号进行较小的接收增益的技术效果,并提高了磁共振接收信号的动态范围。

    一种磁共振扫描序列仿真平台

    公开(公告)号:CN111695273A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010757392.1

    申请日:2020-07-31

    IPC分类号: G06F30/20

    摘要: 本发明公开一种磁共振扫描序列仿真平台,应用于电子信息技术领域,为了解决现有技术中缺乏一种能够从序列设计界面观察到所设计的扫描序列,使得序列设计者不需要借助磁共振成像系统的磁共振扫描序列仿真平台;本发明提供的仿真平台通过序列计算机和主控设备实现;主控设备完全在数字逻辑芯片完成产生数字的射频脉冲波形数据和实际的梯度波形数据,然后通过数字的采集模块,分别将发射脉冲波形数据和实际的梯度波形数据采集并上传至序列计算机进行观测;本发明可以实现序列设计者通过仿真平台的仿真结果明确判断设计的扫描序列是否跟预期一致;方便及时纠正设计错误。