一种基于氨气的化学气相沉积设备

    公开(公告)号:CN216765046U

    公开(公告)日:2022-06-17

    申请号:CN202123265223.5

    申请日:2021-12-23

    Abstract: 本实用新型涉及氨气化学气相沉积技术领域,且公开了一种基于氨气的化学气相沉积设备,包括反应箱,所述反应箱侧边固定连接有控制器,所述控制器顶部固定连接有智能阀,所述智能阀侧边固定连接有输气管,所述智能阀侧边固定连接有输气计量仪,所述输气计量仪与反应箱和控制器相连接,所述控制器侧边固定连接有信号接收器,所述控制器底部固定连接有加热器,所述加热器与反应箱相连接,所述反应箱表面固定连接有气体检测仪。该基于氨气的化学气相沉积设备,通过反应箱、控制器、智能阀、输气管、输气计量仪、信号接收器和加热器等部分的连接和作用,达到远程操作打破空间限制,不直接接触保障安全,简单操作数值可控的效果。

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