基板边缘光刻胶的去除装置

    公开(公告)号:CN103913958A

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201410100776.0

    申请日:2014-03-18

    摘要: 本发明涉及光刻胶去除设备技术领域,公开了一种基板边缘光刻胶的去除装置。所述基板边缘光刻胶的去除装置包括喷洗装置,喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴,气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧,气体喷嘴和液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴;狭缝状气体喷嘴喷出的气体落于基板表面形成第一狭缝区,狭缝状液体喷嘴喷出的液体落于基板表面形成第二狭缝区,第一狭缝区和第二狭缝区不相重叠。在本发明技术方案中,由于采用狭缝状气体喷嘴或狭缝状液体喷嘴,更易于气体或液体流畅喷出,不会导致光刻胶溶解剂溅射,避免了基板内部溅射光刻胶溶解剂而导致的基板不良现象的发生。

    一种微生物去除装置和基板清洗设备

    公开(公告)号:CN202729846U

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201220276843.0

    申请日:2012-06-12

    发明人: 高安安

    IPC分类号: C02F1/32 B08B11/00 B08B3/00

    摘要: 本实用新型涉及显示技术领域,公开了一种微生物去除装置和基板清洗设备。该微生物去除装置包括进水口和出水口,并且进水口和出水口之间由水管相连;所述装置还包括发出的光线能够照射到水管的灭菌灯管。无论清洗玻璃基板的水是否为循环利用,本实用新型的微生物去除装置能够对清洗基板的水进行灭菌处理,清洗基板的水因经过灭菌处理而含有极少微生物甚至不含有微生物,因此能够有效改善基板的清洗效果。该基板清洗设备使用了上述的微生物去除装置,也可以有效改善基板的清洗效果。