专利检索 ap:("北京北方华创微电子装备有限公司") AND inv:"李喜文" 第 1 页

1.

发明公开
调节阀及半导体工艺设备审中-实审

公开(公告)号：CN118274144A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202211723495.1

申请日：2022-12-30

申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司

发明人： 李喜文 , 钱存存

IPC分类号： F16K3/02 , F16K31/04

摘要： 本申请公开了一种调节阀及半导体工艺设备，涉及半导体装备领域。一种调节阀包括：阀体、阀板、密封板和调节组件；阀体设有阀腔以及分别与阀腔连通的进口通道和出口通道；密封板设置于出口通道内，密封板设有第一通孔；阀板沿第一方向可移动地设置于出口通道内，并与密封板贴合，阀板用于对调节阀的气体通道的开度进行调节，阀板设有第二通孔；调节组件设置于阀体，且调节组件与阀板连接，用于带动阀板沿第一方向移动，以调节第二通孔与第一通孔的重合面积，其中，第一通孔与第二通孔的重合面积越大，调节阀的气体通道的开度越大。一种半导体工艺设备，包括上述调节阀。本申请能够解决气压差过大导致颗粒污染晶圆等问题。