公开(公告)号：CN105846310B

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201610246740.2

申请日：2016-04-20

申请人： 北京大学

发明人： 王新强 ,  王钇心 ,  刘双龙 ,  荣新 ,  王平 ,  秦志新 ,  童玉珍 ,  许福军 ,  沈波

IPC分类号： H01S5/04 ,  H01S5/028 ,  H01S5/34 ,  H01S5/343

摘要： 本发明公开了一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法。本发明的外延层的多量子阱作为有源区，势阱采用单原子层或亚原子层的数字合金，可以提高载流子局域化，抑制非辐射复合过程，进而提高内量子效率；利用周期性网格状划痕并蒸镀高反射金属薄膜，形成具有凹面的网格状反射层，可增强紫外光的反射，提高光提取效率；电子束泵浦源采用场发射电子束，场发射电子束的小型化和成本低廉使其易于商业化；同时，电子束泵浦源均配有金属栅极，更易于阴极加速的电流的控制、可有效解决发射电子均匀性。

公开(公告)号：CN105846310A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610246740.2

申请日：2016-04-20

申请人： 北京大学

发明人： 王新强 ,  王钇心 ,  刘双龙 ,  荣新 ,  王平 ,  秦志新 ,  童玉珍 ,  许福军 ,  沈波

IPC分类号： H01S5/04 ,  H01S5/028 ,  H01S5/34 ,  H01S5/343

CPC分类号： H01S5/04 ,  H01S5/028 ,  H01S5/34 ,  H01S5/34333

摘要： 本发明公开了一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法。本发明的外延层的多量子阱作为有源区，势阱采用单原子层或亚原子层的数字合金，可以提高载流子局域化，抑制非辐射复合过程，进而提高内量子效率；利用周期性网格状划痕并蒸镀高反射金属薄膜，形成具有凹面的网格状反射层，可增强紫外光的反射，提高光提取效率；电子束泵浦源采用场发射电子束，场发射电子束的小型化和成本低廉使其易于商业化；同时，电子束泵浦源均配有金属栅极，更易于阴极加速的电流的控制、可有效解决发射电子均匀性。