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发明公开
一种基于超快激光加工六边形提高无铅互连焊点电迁移可靠性的方法审中-实审

公开(公告)号：CN119747782A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202510122083.X

申请日：2025-01-24

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 汉晶 , 赵晨曦 , 贾强 , 安彤 , 王乙舒 , 马立民 , 郭福

IPC: B23K1/005

Abstract: 一种基于超快激光加工六边形提高无铅互连焊点电迁移可靠性的方法，涉及材料加工与焊接技术领域。在待互连焊接体的端面采用超快激光加工工艺制备具有六边形阵列沟槽微结构，六边形阵列沟槽微结构是由多个独立的六边形线状沟槽单元组成，六边形线状沟槽单元指的是六边形的六个边对应的为线状沟，每个六边形线状沟槽单元的每个边外侧均对应设有另外一个六边形线状沟槽单元，相邻两个六边形线状沟槽单元的边之间具有空隙；然后采用无铅互连焊接从而提高电迁移可靠性。多尺度的六边形阵列状微纳结构有效提高了连接面的表面积，有利于系列钎料的均匀分布及其固化后的机械结合，用以解决现有线性焊点电迁移失效性能差的问题。

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