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公开(公告)号：CN118011741A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410209552.7
申请日：2024-02-26
申请人： 北京市科学技术研究院
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明提供一种基于扫描近场光学显微镜的近场扫描光刻系统及方法，基于扫描近场光学显微镜的近场扫描光刻系统包括扫描探针、光刻载体、紫外激光模块和扫描近场光学显微镜，扫描探针的针尖表面上覆盖有一层金属薄膜，在金属薄膜上加工有亚波长孔径；光刻载体包括第一金属层、光刻胶层、第二金属层和硅基片；紫外激光模块包括紫外激光器和紫外激光光路，紫外激光器发射的紫外激光能够对光刻胶层曝光，扫描近场光学显微镜用于控制扫描探针在光刻载体上方移动，利用亚波长孔径附近的局域光场增强对光刻胶层进行曝光，在光刻胶层中扫描出预设图案。本发明能够在高速加工运动过程中精确、稳定地保持纳米尺度间距，提高等离激元近场光刻的曝光深度。
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公开(公告)号：CN117870860A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311864012.4
申请日：2023-12-29
申请人： 北京市科学技术研究院
摘要： 本公开涉及极紫外光源技术领域，是一种用于多角度测量激光等离子体产生的极紫外光的装置，包括：机械构件，用于安装和设置光学组件和极紫外光发生单元；光学组件，用于产生激光，实现产生的极紫外光的光通量和光斑大小的探测；极紫外光发生单元，用于产生极紫外光；控制单元，用于控制机械构件及安装于机械构件上的光学组件和极紫外光发生单元。利用本公开，固体靶材被激光烧灼产生的等离子体产生的极紫外光通过第一滤光片后再通过一个针孔后到达背照射CCD相机，从而得到极紫外光的光斑大小；转动电动机械转台，等离子体产生的极紫外光通过第二滤光片、极紫外窗口到达光电二极管，从而得到极紫外光的光通量大小。该装置能够实现对不同角度激光入射时等离子体产生的极紫外光的光通量和光斑大小的测量。
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公开(公告)号：CN118169101A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410350748.8
申请日：2024-03-26
申请人： 北京市科学技术研究院
摘要： 本发明公开了一种基于多次拉曼反射的检测系统及方法，其中系统包括：激光器、带有光学透镜的滤波器、多次反射棱镜组、样品台、光谱仪探测器和数据采集及处理器；激光器发射单色激光；带有光学透镜的滤波器接收单色激光；多次反射棱镜组接收激光，并反射至样品台；样品台将多次反射棱镜组的激光在待测样品与多次反射棱镜组之间反射，生成拉曼散射光谱；光谱仪探测器生成拉曼光谱数据；数据采集及处理器采集、存储、分析和处理拉曼光谱数据。本发明提供一种基于多次拉曼反射的检测系统及方法，可实现激光多次打在样品上，可增强信号，从而提高检测的准确性和灵敏度。
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公开(公告)号：CN117987142A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311864727.X
申请日：2023-12-29
申请人： 北京市科学技术研究院
摘要： 本公开是一种铜基闪烁体纳米晶及其制备方法和应用，该铜基闪烁体纳米晶的制备方法包括：制备铜基闪烁体前驱体溶液；对铜基闪烁体前驱液进行雾化急冷制备铜基闪烁体纳米晶。本公开利用碱金属卤化物和卤化亚铜为反应物，将其溶解于氢卤酸的水溶液中，加入还原保护剂，加热得到铜基闪烁体前驱体溶液；随后利用雾化急冷技术，将前驱液雾化后通入固态二氧化碳孔隙，急剧冷却后析出闪烁体纳米晶体。本发明方法制备的铜基闪烁体物相纯度高、结晶性好、光学性能优异，可实现闪烁体纳米晶的粒径控制，且该雾化急冷方法工艺简单，生产成本低。
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