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1.

实用新型
柱面电离器失效

公开(公告)号：CN2107714U

公开(公告)日：1992-06-17

申请号：CN91229824.3

申请日：1991-12-09

申请人： 北京师范大学

发明人： 缴桂跃 , 王文勋 , 王广甫 , 董平

IPC分类号： H01J27/02 , H05H7/00 , C23C14/34

摘要： 一种溅射离子源用的新型电离器，由普通电热管做成筒状加热器，其中衬有高功函数材料的薄片，例如钽片，其内柱面即为有效电离面，柱面光滑，电场分布均匀，也便于清洗。装配式结构，便于更换零件。全部零件和材料立足于国内，成本大大低于进口的电离器。在我们的串列加速器上使用多年，证明其性能优于进口的电离器。