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发明公开
一种PC基底斜入射窄带负滤光膜膜系、滤光片及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118311704A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202310025023.7

申请日：2023-01-09

申请人： 北京晶宏光电科技有限公司 , 航宇救生装备有限公司

发明人： 陈联云 , 张树玉 , 刘伟 , 钱小满 , 王国伟 , 王居豪

IPC分类号： G02B5/28 , C23C14/32 , C23C14/06 , C23C14/08

摘要： 本发明公开了一种斜入射窄带负滤光膜膜系、滤光片及其制备方法。该膜系由34层膜层组成，膜系的结构为：Sub/(LMH)nM/Air。其中，Sub为PC树脂基底，H为ZnS膜层，L为YbF3膜层，M为Al2O3膜层，膜层为非规整膜系，n为膜层的重复次数，取值为11，Air为空气。所述窄带负滤光膜膜系的垂直入射中心波长为544nm，入射角度为15°～35°，半峰宽为45nm，峰值反射率大于96.7％。根据本发明制备的PC基底斜入射窄带负滤光片膜层牢固度高，光学性能好。